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業(yè)內(nèi)**的半導體/FPD檢查顯微鏡,，沒有之一,。

LEICA INM100自動芯片分析顯微鏡配備其配套的控制器、攝像頭,，軟件,，PRIOR納米平臺集成了整個Imaging System。

　　是對深亞微米工藝芯片進行連續(xù)性,、大面積的微觀圖片信息采集的**工具,。

　　使用方法：

　　① 將試樣芯片置于直線刻度自動納米平臺上,，試樣芯片與電動平臺之間的位置關系是相對固定的

　?、?設定顯微鏡的放大倍數(shù)，一邊通過目鏡觀察,，一邊調(diào)節(jié)電動臺控制器的操縱桿和轉(zhuǎn)鈕,，使顯微鏡的物鏡對準試樣的某一微觀區(qū)域（一般是試樣的*邊緣）

　　③ 試樣芯片通過顯微鏡所成的像由CCD采集

　?、?CCD控制器將CCD所采集到的圖片信息進行數(shù)/模之間的轉(zhuǎn)換

　?、?CCD控制器處理過的信號在計算機的顯示器上顯示出來，在圖像達到滿意的效果之后,，操縱拍攝控制軟件,，便將該圖像保存在計算機中

　　⑥ **張圖像保存后,，由于電動臺控制器具有設定的程序,，控制器會控制電動平臺自動移動至下一相鄰的微觀區(qū)域（逐行或逐列,，兩微觀區(qū)域共一邊界），從而使計算機的顯示器上呈現(xiàn)第二個微觀區(qū)域的圖像信息,。由于處理過的芯片的表面并不平坦,，且放大倍數(shù)較高，可能造成顯示器上圖像并不清晰,，此時可以通過調(diào)節(jié)電動臺控制器來調(diào)節(jié)顯微鏡的焦距,，直至獲取該微觀區(qū)域清晰的圖像。拍攝第三個微觀區(qū)域…第四個…整個芯片拍攝完畢,。

**版本的自動芯片拍照軟件可以同時處理上萬張照片的拍攝,，自動拼接合成功能，并可以將上萬張照片的合成照片顯示在計算機屏幕上,，解決了海量照片無法顯示的難題,。為全面深入地分析芯片提供了**的工具。