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業(yè)內(nèi)**的半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡，沒有之一,。

LEICA INM100自動芯片分析顯微鏡配備其配套的控制器,、攝像頭，軟件,，PRIOR納米平臺集成了整個Imaging System,。

　　是對深亞微米工藝芯片進(jìn)行連續(xù)性、大面積的微觀圖片信息采集的**工具,。

　　使用方法：

　?、?將試樣芯片置于直線刻度自動納米平臺上，試樣芯片與電動平臺之間的位置關(guān)系是相對固定的

　　② 設(shè)定顯微鏡的放大倍數(shù),，一邊通過目鏡觀察,，一邊調(diào)節(jié)電動臺控制器的操縱桿和轉(zhuǎn)鈕，使顯微鏡的物鏡對準(zhǔn)試樣的某一微觀區(qū)域（一般是試樣的*邊緣）

　?、?試樣芯片通過顯微鏡所成的像由CCD采集

　?、?CCD控制器將CCD所采集到的圖片信息進(jìn)行數(shù)/模之間的轉(zhuǎn)換

　　⑤ CCD控制器處理過的信號在計(jì)算機(jī)的顯示器上顯示出來,，在圖像達(dá)到滿意的效果之后,，操縱拍攝控制軟件，便將該圖像保存在計(jì)算機(jī)中

　?、?**張圖像保存后,，由于電動臺控制器具有設(shè)定的程序，控制器會控制電動平臺自動移動至下一相鄰的微觀區(qū)域（逐行或逐列,，兩微觀區(qū)域共一邊界）,，從而使計(jì)算機(jī)的顯示器上呈現(xiàn)第二個微觀區(qū)域的圖像信息。由于處理過的芯片的表面并不平坦,，且放大倍數(shù)較高,，可能造成顯示器上圖像并不清晰，此時可以通過調(diào)節(jié)電動臺控制器來調(diào)節(jié)顯微鏡的焦距,，直至獲取該微觀區(qū)域清晰的圖像,。拍攝第三個微觀區(qū)域…第四個…整個芯片拍攝完畢。

**版本的自動芯片拍照軟件可以同時處理上萬張照片的拍攝,，自動拼接合成功能,，并可以將上萬張照片的合成照片顯示在計(jì)算機(jī)屏幕上，解決了海量照片無法顯示的難題,。為全面深入地分析芯片提供了**的工具,。