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AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高,，配備4英寸自動馬達臺的全自動型原子力顯微鏡。設備在懸臂更換,，激光對中,，測試參數設置等環(huán)節(jié)上提供全自動操作平臺。新開發(fā)的高精度掃描器和低噪音3軸感應器使測量精度大幅提高,。并且,，通過SEM-AFM共享坐標樣品臺可輕松實現同一視野的相互觀察分析。
特點
1. 自動化功能
高度集成自動化功能追求高效率檢測
降低檢測中的人為操作誤差?
4英寸自動馬達臺
自動更換懸臂功能
2. 可靠性
排除機械原因造成的誤差
大范圍水平掃描
采用管型掃描器的原子力顯微鏡,，針對掃描器圓弧運動所產生的曲面,，通常通過軟件校正方式獲得平面數據。但是,，用軟件校正方式不能完全消除掃描器圓弧運動的影響,，圖片上經常發(fā)生扭曲效果。AFM5500M搭載了**研發(fā)的水平掃描器,，可實現不受圓弧運動影響的準確測試,。
樣品：硅片上的非晶硅薄膜
高精角度測量
普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器，在豎直伸縮的時候,，會發(fā)生彎曲（crosstalk）。這是圖像在水平方向產生形貌誤差的直接原因,。AFM5500M中搭載的全新掃描器,，在豎直方向上不會發(fā)生彎曲（crosstalk） ,，可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。
樣品 : 太陽能電池(由于其晶體取向具有對稱結構)
* 使用AFM5100N（開環(huán)控制）時
3. 融合性
親密融合其他檢測分析方式
通過SEM－AFM的共享坐標樣品臺,，可實現在同一視野快速的觀察分析樣品的表面形貌,，結構，成分,，物理特性等,。
SEM-AFM在同一視野觀察實例（樣品：石墨烯/SiO2）
上圖是AFM5500M拍攝的形貌像（AFM像）和電位像（KFM像）分別和SEM圖像疊加的應用數據。
通過分析AFM圖像可以判斷,，SEM對比度表征石墨烯層的厚薄,。
石墨烯層數不同導致表面電位（功函數）的反差。
SEM圖像對比度不同,，可以通過SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因,。
與其他顯微鏡以及分析儀器聯用正在不斷開發(fā)中。
暫無數據,！
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