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利用 Thermo Scientific™ Theta Probe 角分辨 X 射線光電子能譜儀系統(tǒng)采集角分辨能譜,，無須傾斜樣品即可無損表征超薄薄膜
新型技術(shù)產(chǎn)品所依賴的是固體近表面區(qū)域的設(shè)計(jì)。對于這種類型的材料,，包括自組裝單層,、表面改性聚合物和半導(dǎo)體設(shè)備，確定表面幾納米的成分是關(guān)鍵,。通過使用平行角分辨 XPS (PARXPS) 和能夠提供準(zhǔn)確精密結(jié)果的 Avantage 數(shù)據(jù)系統(tǒng)的先進(jìn)軟件,，Theta Probe X 射線光電子能譜儀系統(tǒng)能夠幫助您做到這一點(diǎn)。
描述
Theta Probe 角分辨 X 射線光電子能譜儀系統(tǒng)特性：
**的弧透鏡技術(shù),，提供 60° 平行角范圍內(nèi)收集角分辨 XPS 能譜的能力
X 射線單色器具有用戶可選擇的光斑尺寸（15 至 400 μm）
系統(tǒng)能夠處理大樣品或多個(gè)樣品
CCD 樣品對齊顯微鏡與樣品表面垂直,。
透鏡、分析儀和檢測器
弧透鏡利用大接收角 (60°) 收集光電子
大角度可以**程度提高靈敏度,，并且允許在 PARXPS 測量中收集大角度范圍
透鏡軸與樣品法線成 50°,，因此可以收集 20 至 80° 角度范圍的電子（相對于樣品法線）
180° 半球型分析器在輸出端配備一個(gè)二維檢測器
二維檢測器提供多通道檢測，多達(dá) 112 個(gè)能量通道和 96 個(gè)角度通道
透鏡有兩種操作方式：傳統(tǒng)模式和角度分辨模式
X 射線源
配備一個(gè)微聚焦單色器
X 射線光斑尺寸范圍 15 - 400 μm
深度剖析
數(shù)控式 EX05 離子槍可用于提供深度剖析，哪怕在使用低能離子源時(shí)也有著很好的性能
深度剖析可使用方位角樣品旋轉(zhuǎn)
樣品處理
全電動(dòng)樣品臺,，能夠?qū)崿F(xiàn) 5 軸移動(dòng)
樣品臺可容納大樣品——X 和 Y 軸上的移動(dòng)范圍為 70 mm,，Z 軸上的移動(dòng)范圍為 25 mm（高度）
真空系統(tǒng)
5 mm 厚高導(dǎo)磁?金屬分析室，**程度提高磁屏蔽效率
與使用內(nèi)部或外部屏蔽的方法相比,，屏蔽效能更佳
Avantage 數(shù)據(jù)系統(tǒng)
集成了測試分析的所有方面,，包括儀器控制、數(shù)據(jù)采集,、數(shù)據(jù)處理和報(bào)告生成
允許遠(yuǎn)程控制,，并且可輕松與第三方軟件交互（例如 Microsoft Word）
管理從樣品載入到報(bào)告生成的整個(gè)分析過程
暫無數(shù)據(jù)！
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