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該場發(fā)射掃描電鏡主要有如下特點(diǎn)：

1.探針電流較大,，可達(dá)20nA（100nA可選），可容易進(jìn)行BSE,、EDS,、WDS、EBSD,、CL等分析,。而一般冷場發(fā)射探針電流達(dá)不到這個(gè)數(shù)量級，有些分析工作（如WDS,、EBSD,、CL等）在冷場電鏡上難以進(jìn)行,。

2.平行束的電子光學(xué)系統(tǒng)：

ΣIGMA 系列熱場發(fā)射掃描電鏡鏡筒系統(tǒng)電子光學(xué)設(shè)計(jì)新穎獨(dú)特，稱為GEMINI鏡筒,。在光源與樣品之間,，入射電子束不形成交叉點(diǎn)，這與其它掃描電鏡明顯不同,。入射電子束無交叉點(diǎn)光學(xué)設(shè)計(jì)的作用在于：⑴降低入射電子束之間的庫侖統(tǒng)計(jì)相互作用（減少電子碰撞,，降低色差）；⑵降低外部環(huán)境雜散磁場對入射電子束的影響,。因此,，GEMINI鏡筒設(shè)計(jì)確保了入射電子束的亮度及圖像分辨率。特別在低入射能量應(yīng)用時(shí),，上述作用尤為重要,。

3.可擴(kuò)展性：標(biāo)配所有的接口，可以兼容市場上所有的電鏡相關(guān)附件,，如：能譜儀,、波譜儀、EBSD,、CL,、冷凍臺、拉伸臺,、等離子清洗裝置等,，后續(xù)升級沒有任何障礙。

4.電子束噪聲較小,，<1%,。

5.束流穩(wěn)定度高，優(yōu)于0.2%/h,，適宜于長時(shí)間的各種精確分析,。

上述兩項(xiàng)指標(biāo)其它廠家均未給出。在理論上冷場發(fā)射要比熱場發(fā)射要差一個(gè)數(shù)量級,。

6.所需的工作真空度（包括電子槍真空度和樣品室真空度）較低,，對環(huán)境、樣品要求不高,。而冷場發(fā)射電鏡的真空度比熱場要高2個(gè)數(shù)量級,，真空系統(tǒng)復(fù)雜，如樣品不清潔,、有揮發(fā),、放氣等情況，抽真空較困難,。

7.采用動(dòng)態(tài)/靜態(tài)磁透鏡（雙子星座）,，沒有雜散磁場,，可對鐵磁體樣品進(jìn)行高分辨率成像,。（蔡司是行內(nèi)**可以承諾做磁性材料的電鏡品牌）

8.超大樣品室：樣品室尺寸達(dá)到365mm（內(nèi)直徑）×275mm（內(nèi)高度），五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)全優(yōu)中心樣品臺,，行內(nèi)**的五軸樣品臺移動(dòng)范圍：X = 125mm,，Y = 125mm,，Z = 50mm,，T = 0 to 90°,，R = 360° ，為使用提供了極大的方便,。

9.抽屜式樣品室拉門,，方便樣品更換及大樣品、形狀復(fù)雜樣品的觀察,，**樣品直徑可達(dá)250mm以上,，**樣品高度約為145mm,。而冷場掃描電鏡由于要求的真空度較高,，不宜破壞樣品室真空，一般用“樣品交換氣鎖”來更換樣品,，操作麻煩,，且進(jìn)出樣品的尺寸、形狀受限,，一般樣品**直徑不超過100mm,，**樣品高度約為26mm。

10.采用全自動(dòng)控制無油式真空系統(tǒng),，采用機(jī)械泵＋磁懸浮分子渦輪泵＋離子泵,，無油污染。

11.獨(dú)特的環(huán)形In-lens二次電子探測器,，探測效率高,、圓周對稱。而其他廠家的In-lens探測器安裝在一側(cè),，且結(jié)構(gòu)復(fù)雜,。

12.維護(hù)簡便，且工作穩(wěn)定,。冷場電鏡每8個(gè)小時(shí)都需要Flash(陰極還原),，且發(fā)射電流不穩(wěn)定，使用維護(hù)麻煩,。而熱場電鏡無此麻煩,。

13.末級光欄采用多孔光欄結(jié)構(gòu)，用電磁方式進(jìn)行更換和對中調(diào)整,，操作方便,。鏡筒上無需用戶調(diào)整的部件,。

14.高景深：物鏡光欄放在燈絲下，景深行內(nèi)**,。

15.多功能控制面板：方便進(jìn)行聚焦,、消像散、電位移,、放大倍率調(diào)整等,。

16.可選配光電一體化模塊，實(shí)現(xiàn)與光學(xué)顯微鏡連用：實(shí)現(xiàn)低倍定位,，拍照等功能,。