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該場發(fā)射掃描電鏡主要有如下特點：

1.探針電流較大,，可達20nA（100nA可選）,，可容易進行BSE、EDS,、WDS,、EBSD、CL等分析,。而一般冷場發(fā)射探針電流達不到這個數(shù)量級,，有些分析工作（如WDS,、EBSD、CL等）在冷場電鏡上難以進行,。

2.平行束的電子光學系統(tǒng)：

ΣIGMA 系列熱場發(fā)射掃描電鏡鏡筒系統(tǒng)電子光學設計新穎獨特,，稱為GEMINI鏡筒。在光源與樣品之間,，入射電子束不形成交叉點,，這與其它掃描電鏡明顯不同。入射電子束無交叉點光學設計的作用在于：⑴降低入射電子束之間的庫侖統(tǒng)計相互作用（減少電子碰撞,，降低色差）,；⑵降低外部環(huán)境雜散磁場對入射電子束的影響。因此,，GEMINI鏡筒設計確保了入射電子束的亮度及圖像分辨率,。特別在低入射能量應用時，上述作用尤為重要,。

3.可擴展性：標配所有的接口,，可以兼容市場上所有的電鏡相關附件，如：能譜儀,、波譜儀,、EBSD、CL,、冷凍臺,、拉伸臺、等離子清洗裝置等,，后續(xù)升級沒有任何障礙,。

4.電子束噪聲較小，<1%,。

5.束流穩(wěn)定度高,，優(yōu)于0.2%/h，適宜于長時間的各種精確分析,。

上述兩項指標其它廠家均未給出,。在理論上冷場發(fā)射要比熱場發(fā)射要差一個數(shù)量級。

6.所需的工作真空度（包括電子槍真空度和樣品室真空度）較低,，對環(huán)境,、樣品要求不高。而冷場發(fā)射電鏡的真空度比熱場要高2個數(shù)量級,，真空系統(tǒng)復雜,，如樣品不清潔、有揮發(fā),、放氣等情況,，抽真空較困難,。

7.采用動態(tài)/靜態(tài)磁透鏡（雙子星座），沒有雜散磁場,，可對鐵磁體樣品進行高分辨率成像,。（蔡司是行內**可以承諾做磁性材料的電鏡品牌）

8.超大樣品室：樣品室尺寸達到365mm（內直徑）×275mm（內高度），五軸馬達驅動全優(yōu)中心樣品臺,，行內**的五軸樣品臺移動范圍：X = 125mm,，Y = 125mm，Z = 50mm,，T = 0 to 90°,，R = 360° ，為使用提供了極大的方便,。

9.抽屜式樣品室拉門,，方便樣品更換及大樣品、形狀復雜樣品的觀察,，**樣品直徑可達250mm以上,，**樣品高度約為145mm。而冷場掃描電鏡由于要求的真空度較高,，不宜破壞樣品室真空,，一般用“樣品交換氣鎖”來更換樣品，操作麻煩,，且進出樣品的尺寸,、形狀受限，一般樣品**直徑不超過100mm,，**樣品高度約為26mm,。

10.采用全自動控制無油式真空系統(tǒng)，采用機械泵＋磁懸浮分子渦輪泵＋離子泵,，無油污染,。

11.獨特的環(huán)形In-lens二次電子探測器，探測效率高,、圓周對稱。而其他廠家的In-lens探測器安裝在一側,，且結構復雜,。

12.維護簡便，且工作穩(wěn)定,。冷場電鏡每8個小時都需要Flash(陰極還原),，且發(fā)射電流不穩(wěn)定，使用維護麻煩,。而熱場電鏡無此麻煩,。

13.末級光欄采用多孔光欄結構,，用電磁方式進行更換和對中調整，操作方便,。鏡筒上無需用戶調整的部件,。

14.高景深：物鏡光欄放在燈絲下，景深行內**,。

15.多功能控制面板：方便進行聚焦,、消像散、電位移,、放大倍率調整等,。

16.可選配光電一體化模塊，實現(xiàn)與光學顯微鏡連用：實現(xiàn)低倍定位,，拍照等功能,。