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ZEISS公司具有悠久的電鏡研究,、生產(chǎn)歷史，在世界上一直處于地位,。
當(dāng)今的ZEISS公司納米技術(shù)系統(tǒng)分部（The Nano Technology Systems Division of Carl Zeiss SMT）由德國(guó)本部電鏡生產(chǎn)基地和英國(guó)劍橋廠及其他配件廠組成,。積掃描電鏡領(lǐng)域及透射電鏡領(lǐng)域多年的研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，ZEISS電子束技術(shù)在世界上創(chuàng)造了數(shù)個(gè)一：
一臺(tái)靜電式 TEM (1949)
一臺(tái)商用 SEM (1965)
一臺(tái)全數(shù)字 SEM (1985)
一臺(tái)帶有成像濾波器的 TEM (1992)
一臺(tái)可變壓力 FE-SEM (2001)
一臺(tái)具有Koehler照明的 200kV FE EFTEM (2003)
一臺(tái)具有鏡筒內(nèi)校正Omega能量濾波器的EFTEM (2003)
ZEISS電鏡技術(shù)經(jīng)歷了Cambridge,、OPTON,、LEICA、LEO等發(fā)展階段,，現(xiàn)已具有鎢燈絲掃描電鏡,、場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡、雙束顯微鏡(FIB and SEM),、透射電子顯微鏡等生產(chǎn)能力的廠家,。其產(chǎn)品的高性能、高質(zhì)量,、高可靠性和穩(wěn)定性已得到全世界廣大用戶的信賴(lài)與認(rèn)可,。
2. 先進(jìn)的儀器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
ZEISS掃描電鏡采用通用的鏡體設(shè)計(jì)，可配備各種不同的附件,，適應(yīng)各種分析的需要,。并具有靈活的可升級(jí)性，可按照用戶研究工作發(fā)展的需要進(jìn)行升級(jí),。各種類(lèi)型的掃描電鏡均有高真空,、低真空（或超低真空）型號(hào)，以滿足不同樣品檢測(cè)的需要,。
3. **的技術(shù)性能
高分辨率 ： 目前,，鎢燈絲掃描電鏡的分辨率達(dá)到3nm，能夠滿足失效分析,、材料研究等方面的需要,。
大樣品室： ZEISS掃描電鏡具有世界上大的樣品室,，樣品室內(nèi)部尺寸為Φ365mm×275mm，全對(duì)中的樣品臺(tái),，可放置的大樣品尺寸為Φ250mm×145mm,，樣品臺(tái)大承載重量為5kg，方便各種大樣品的分析,。
高效無(wú)污染真空系統(tǒng)： ZEISS各種型號(hào)的掃描電鏡均采用了渦輪分子泵抽真空,，其抽真空速度快、無(wú)污染,、免維護(hù)是其大的優(yōu)勢(shì),。還可提供無(wú)油的真空系統(tǒng)。
自動(dòng)化操作： 新型的掃描電鏡全部采用當(dāng)前先進(jìn)的計(jì)算機(jī)集成自動(dòng)化控制,，采用Windows視窗操作系統(tǒng),、圖形用戶控制界面，全部操作可用鍵盤(pán)和鼠標(biāo)完成,。樣品臺(tái)坐標(biāo)軸全部馬達(dá)驅(qū)動(dòng),，軟件功能強(qiáng)大，操作非常簡(jiǎn)單和方便,。
五軸馬達(dá)自動(dòng)控制全對(duì)中樣品臺(tái)：X:125mm Y:125mm Z:50mm T: 0～+90度 R:360度,。
高穩(wěn)定性、可靠性： ZEISS掃描電鏡具有很高的穩(wěn)定性,，鏡筒,、電路板等均采用了水冷，保證了其工作的穩(wěn)定與可靠,。做工的精湛,，工藝的考究，也為世界之首,。
4. 全面的成像解決方案
ZEISS的鎢燈絲掃描電鏡可以提供高真空,、低真空和超低真空工作模式，對(duì)任何材料都沒(méi)有局限性,，滿足金屬,、陶瓷、地礦,、化工,、半導(dǎo)體,、生命科學(xué)等所有研究領(lǐng)域需要,。其超大樣品室預(yù)留足夠端口，可搭配能譜,、波譜,、背散射電子衍射,、陰極熒光等，樣品臺(tái)可裝加熱臺(tái),、冷卻臺(tái)和拉伸臺(tái)以滿足各種研究需要,。其大束流和優(yōu)異的束流穩(wěn)定度支持各種大束流和長(zhǎng)時(shí)間的分析。
掃描電鏡的強(qiáng)大功能已使其成為研究所以及工廠的微觀失效分析的一個(gè)基本工具,，為失效分析提供真實(shí)確切的證據(jù),，提高相應(yīng)領(lǐng)域的分析水平。廣泛應(yīng)用于航空航天,、交通,、材料、冶金,、地礦,、半導(dǎo)體、生命科學(xué)等方面,。
5. 低真空的應(yīng)用
在失效分析中,，除了金屬樣品外，還有很多非金屬樣品,，這些樣品導(dǎo)電性很差,。要分析這些非導(dǎo)電樣品，樣品的充電是不可避免的,。由于電子束打到樣品上使樣品帶電,，其產(chǎn)生的電場(chǎng)影響了二次電子的產(chǎn)生和接收，使圖像上呈現(xiàn)一片片亮的或暗的區(qū)域,，無(wú)法進(jìn)行正常觀察,。要對(duì)這些非導(dǎo)電樣品進(jìn)行分析，就必須排除樣品充電的影響,。其方法之一就是將樣品上的電荷中和掉,。ZEISS掃描電鏡所采取的措施是：使樣品室處于低真空狀態(tài)，樣品表面所產(chǎn)生的二次電子與樣品室中的氣體分子相碰撞,，使氣體電離,，這些氣體離子附著于樣品表面，將樣品上所帶的電荷中和掉,。使用專(zhuān)用的探測(cè)器,，接收二次電子與氣體分子相碰撞時(shí)產(chǎn)生的光子，這些光子也就代表了二次電子信號(hào),，使成像不受樣品導(dǎo)電性的影響,，在分析這些樣品時(shí)能夠得到理想的成像。
對(duì)于一些含水,、含油的樣品,，可以采用更低的真空度,，使水分在該壓力、溫度下不至于揮發(fā),，這樣便可觀察到真實(shí)的生物樣品形貌,。
6. 具有多種觀察模式，
分辨率模式,、景深模式,、分析模式、視場(chǎng)模式,、魚(yú)眼模式,。
卡爾蔡司ZEISS EVO18鎢燈絲掃描電鏡的工作原理介紹？
