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Ushio手動光刻設(shè)備UPE-1102LU主要應(yīng)用于LED芯片（藍(lán)白光，紅黃光）研發(fā)和生產(chǎn)當(dāng)中,，并且對全自動生產(chǎn)線所產(chǎn)生的LED芯片破片有輔助生產(chǎn)和處理的功能,。同時(shí)也能對應(yīng)一些較為特殊材質(zhì)的芯片如：GaAs，SiO2的研發(fā)及生產(chǎn),。

特點(diǎn)：

*可調(diào)整光刻間距,，**限度的避免光刻板被污染。

*操作簡易,，任何操作人員都能在短時(shí)間內(nèi)熟練掌握,。

*產(chǎn)能高于一般同行業(yè)競爭對手，**可達(dá)80WPH,；

*可調(diào)整光刻時(shí)間,，調(diào)整光強(qiáng)，并可根據(jù)所需累計(jì)光量值自動補(bǔ)償光刻時(shí)間（無需人工調(diào)整）,。

*更具客戶端的光刻工藝,，可預(yù)先設(shè)定光刻頻道，可**限度避免人為誤操作的產(chǎn)生,。

應(yīng)用：

*LED,，半導(dǎo)體的芯片生產(chǎn)和研發(fā)。