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Leica EM ACE600 是一款高真空鍍膜儀,，真空泵采用隔膜泵和渦輪分子泵,，無油真空系統(tǒng)，真空度可達(dá)2×10 -6 mbar,。鍍膜細(xì)膩均勻,。內(nèi)置石英膜厚檢測器，可精確控制鍍膜厚度,。全自動電腦控制,，自動完成抽真空，鍍膜,，放氣等全過程,，一鍵操作。采用觸摸屏控制,，簡單方便,。儀器可選離子濺射鍍金屬膜，滿足高分辨場發(fā)射掃描電鏡（FE-SEM）需求,?？蛇x碳絲蒸發(fā)鍍碳膜，用于X-射線能譜及波譜分析,，或者TEM銅網(wǎng)鍍碳膜,。還可以選擇電子束蒸發(fā)方式鍍膜，獲得極其細(xì)膩的金屬膜與碳膜,，可用于DNA投影等特殊用途,。

特點

　　? 可任選離子濺射模式，碳絲蒸發(fā)鍍碳模式,，碳棒（熱阻）蒸發(fā)模式,，電子束蒸發(fā)模式，雙濺射模式,，濺射-碳絲模式,，濺射-碳棒模式，濺射-電子束模式,，雙電子束模式,，可兼容EM VCT500冷凍傳輸系統(tǒng),，可選輝光放電（用于網(wǎng)格表面親水化）

　　? **設(shè)計脈沖式碳絲蒸發(fā)方式,，可精確控制碳膜厚度

　　? 內(nèi)置石英膜厚檢測器，精確控制鍍膜厚度,，精度達(dá)0.1nm

　　? 全自動程序控制,，自動完成抽真空，鍍膜,，放氣等過程

　　? 觸摸屏控制,，簡單方便

　　? 采用隔膜泵+渦輪分子泵,，無油真空系統(tǒng)，真空度≤2×10 -6 mbar

　　? 濺射電流：0-150mA可調(diào)

　　? 方形樣品倉**設(shè)計,，樣品倉尺寸：200mm（寬）×150mm（深）×195mm（高）

　　? 樣品臺內(nèi)置旋轉(zhuǎn),，工作距離調(diào)節(jié)范圍：30mm-100mm