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Leica EM RES102 通過離子槍激發(fā)獲得離子束,，以一定入射角度對樣品進(jìn)行轟擊,，以去除樣品表面原子，從而實現(xiàn)對樣品的離子束加工,。Leica EM RES102主要功能為：對無機(jī)薄片樣品進(jìn)行離子減薄,，使得薄片樣品可被透射電子穿過，從而適宜TEM透射電子顯微鏡觀察,；對無機(jī)塊狀樣品進(jìn)行離子束拋光,、離子束刻蝕，樣品表面離子清洗及斜坡切割,，便于SEM掃描電子顯微鏡觀察樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息
特點
? 具有2把離子槍,，離子束能量為0.8keV-10keV，相對位置,，可分別±45°傾斜，樣品臺傾斜角度-120°至210°,，離子束加工角度0°至90°,，樣品平面擺動角度<360°，垂直擺動距離±5mm,。實際操作參數(shù)根據(jù)具體應(yīng)用需要選擇（系統(tǒng)備有參考參數(shù),，也可自行設(shè)置參數(shù)并存儲）
? 可選配樣品臺：TEM樣品臺（?3.0mm或?2.3mm），F(xiàn)IB樣品清洗臺,，SEM樣品臺,，斜坡切割樣品臺（對樣品35°或90°斜坡切割）等
? SEM樣品臺可容納樣品尺寸：直徑25mm，高度12mm
? 全無油真空系統(tǒng),，樣品室?guī)в蓄A(yù)抽室,，保證樣品交換時間<1分鐘
? 全電腦控制，觸摸屏操作界面，內(nèi)置視頻觀察系統(tǒng),，可實時觀察樣品處理過程
暫無數(shù)據(jù),！
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