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Leica EM RES102 通過(guò)離子槍激發(fā)獲得離子束,，以一定入射角度對(duì)樣品進(jìn)行轟擊,，以去除樣品表面原子，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的離子束加工,。Leica EM RES102主要功能為：對(duì)無(wú)機(jī)薄片樣品進(jìn)行離子減薄,，使得薄片樣品可被透射電子穿過(guò)，從而適宜TEM透射電子顯微鏡觀(guān)察,；對(duì)無(wú)機(jī)塊狀樣品進(jìn)行離子束拋光,、離子束刻蝕，樣品表面離子清洗及斜坡切割,，便于SEM掃描電子顯微鏡觀(guān)察樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息

特點(diǎn)

　　? 具有2把離子槍?zhuān)x子束能量為0.8keV-10keV,，相對(duì)位置，可分別±45°傾斜,，樣品臺(tái)傾斜角度-120°至210°,，離子束加工角度0°至90°，樣品平面擺動(dòng)角度<360°,，垂直擺動(dòng)距離±5mm,。實(shí)際操作參數(shù)根據(jù)具體應(yīng)用需要選擇（系統(tǒng)備有參考參數(shù)，也可自行設(shè)置參數(shù)并存儲(chǔ)）

　　? 可選配樣品臺(tái)：TEM樣品臺(tái)（?3.0mm或?2.3mm）,，F(xiàn)IB樣品清洗臺(tái),，SEM樣品臺(tái)，斜坡切割樣品臺(tái)（對(duì)樣品35°或90°斜坡切割）等

　　? SEM樣品臺(tái)可容納樣品尺寸：直徑25mm,，高度12mm

　　? 全無(wú)油真空系統(tǒng),，樣品室?guī)в蓄A(yù)抽室，保證樣品交換時(shí)間<1分鐘

　　? 全電腦控制,，觸摸屏操作界面,，內(nèi)置視頻觀(guān)察系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)觀(guān)察樣品處理過(guò)程