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技術(shù)特色:
> **電磁聚焦離子槍設(shè)計(jì)
> 超寬加速電壓范圍(可達(dá)10keV),,拋光效率高
> 電壓范圍不高于100eV,,修復(fù)后近乎無損
> 配備液氮冷臺(可持續(xù)制冷超過18小時),去除熱損傷
> 同時具備截面切割和平面拋光功能
> 可選配真空轉(zhuǎn)移
創(chuàng)新點(diǎn)
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