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技術(shù)優(yōu)勢:
1、 清洗功率可調(diào)節(jié):0 to 99 watts,;
2,、 操作壓力可調(diào)節(jié):from 2 torr to 1 mTorr;
3,、 清洗速度快,;
4、 無需破真空進(jìn)行清洗,,實(shí)現(xiàn)原位清洗,;
5、 即插即用設(shè)計(jì)方案,,無需集成,;
6、 采用從上到下清洗模式,,降低對樣品的損傷
7,、微量等離子激發(fā),消除清洗和成像交換之間的圖像形成的遲滯現(xiàn)象,;
8,、擴(kuò)展性好,可配用各類臺式電鏡,、透射電鏡原位清洗以及樣品清洗使用
暫無數(shù)據(jù),!