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技術優(yōu)勢：
1,、采用**DownStream設計,，等離子體中不含任何電荷及離子態(tài)物質，防止對樣品表面的濺射損傷,；
2,、ICP誘導激發(fā)等離子體，等離子體量大,，且作用范圍廣,；
3、可同時清洗3根透射電鏡樣品桿,，支持ThermoFisher/JEOL/Hitachi全系列樣品桿,；
4、采用Qwk-Switch快接口設計,，等離子發(fā)生器可以直接接入其他真空腔體進行在線清洗,，一機多用；
5,、清洗功率范圍：10W-99W,，樣品清洗艙大小：7英寸（φ） X 7英寸（H）,；
6,、可直接利用O2或Ar清洗碳膜；
7,、配備真空探測系統(tǒng),，可設定真空范圍自動進行清洗；
8,、清洗速率：1.5nm/min@30W,， 清洗去除為線性模式，可定量化去除污染
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