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感謝您購買我公司的系列分子泵產(chǎn)品,。該產(chǎn)品屬于高真空和超高真空的真空獲得設(shè)備。

在使用前請?jiān)敿?xì)閱讀和理解本說明書的各項(xiàng)內(nèi)容,，以便正確使用,。不正確的使用，將可能造成運(yùn)行不正常,、設(shè)備故障,、壽命降低，甚至危及人身安全,。泵的操作人員必須仔細(xì)閱讀并嚴(yán)格遵守本說明書中的條款,。由于用戶沒有仔細(xì)閱讀說明書、或未按照使用說明書的要求操作而造成的任何傷害和損失,，我公司將不負(fù)擔(dān)任何責(zé)任,。

使用本資料后，務(wù)必進(jìn)行妥善保管,，以備使用,。

凡購買我公司生產(chǎn)的分子泵，從發(fā)貨之日起,，用戶憑保修單可保修一年,。外地用戶可延長一個(gè)月。在保修期內(nèi)不收修理費(fèi),，如需更換零件,，一般核收半費(fèi)，不超過半年可免費(fèi),。

凡屬下列情況之一的,，不予保修：

1) 用戶未經(jīng)授權(quán)對產(chǎn)品私自拆卸,；

2) 用戶保管或使用不當(dāng)（如雨淋、曝曬,、進(jìn)入雜物,、撞擊、強(qiáng)腐蝕環(huán)境,、強(qiáng)放射性環(huán)境,、強(qiáng)磁場環(huán)境等）；

3) 屬于用戶其他原因造成的損壞,。

本說明書僅作為信息使用,，如遇改版，恕不另行通知,。如本說明書與實(shí)際產(chǎn)品有所出入,，本擁有*終解釋權(quán)。由本說明書引起,、產(chǎn)生和包含的知識產(chǎn)權(quán)均屬本公司所有1. 安全注意事項(xiàng)

在安裝,、運(yùn)行、操作,、維護(hù)檢查前,，必須熟悉本說明書內(nèi)容，以保證正確使用,。使用前也必須熟知一切有關(guān)安全注意事項(xiàng),。

1) 分子泵必須與其專用電源配套，同時(shí)與分子泵配套電源必須良好接地,。

否則可能發(fā)生產(chǎn)品損壞,、人員受傷、觸電或干擾,。

2) 分子泵及配套電源的維修必須返回公司由專業(yè)人員進(jìn)行,。

否則可能發(fā)生產(chǎn)品損壞、人員受傷或觸電事故,。

3) 分子泵的日常維護(hù)必須確認(rèn)分子泵已停止轉(zhuǎn)動(dòng),、電源已斷開、泵內(nèi)氣壓已經(jīng)與大氣平衡后方可進(jìn)行換油,、查水等日常維護(hù),。

否則可能發(fā)生產(chǎn)品損壞、人員受傷或觸電事故,。

4) 濕手不能操作開關(guān),。

否則可能發(fā)生觸電事故。

5) 不能帶電接觸電源后面板的接線及端子,。

否則可能發(fā)生產(chǎn)品損壞或觸電事故,。

6) 分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)過程中,，不得對其進(jìn)行猛烈沖撞或震動(dòng)。

否則可能發(fā)生碎泵事故,，并有可能造成其他損壞,。

7) 分子泵啟動(dòng)前必須檢查是否滿足分子泵啟動(dòng)要求。

否則可能引起故障或造成分子泵損壞,。

8) 分子泵電源必須斷開電源15分鐘以上,，才能對其進(jìn)行檢查或接線。

否則可能發(fā)生觸電事故,。

2. 使用前有關(guān)事項(xiàng)

2.1 收貨檢查

檢查收貨的品名和數(shù)量是否和發(fā)貨數(shù)量一致，包裝箱有沒有破損,。

2.2 搬運(yùn)

搬運(yùn)時(shí)必須提取包裝箱的底部,，輕拿輕放，否則可能造成分子泵受損,。對于較大的分子泵可用叉車進(jìn)行搬運(yùn),，搬運(yùn)時(shí)注意不要碰撞底盤上的水、電,、前級口的接口零部件,，以防撞擊后產(chǎn)生漏氣或損壞。2.3 保管

2.3.1 短期保管

短期保管的環(huán)境條件

周圍溫度：-10～ +50℃

相對濕度：5～85%

環(huán)境：不要放在會(huì)發(fā)生溫度急劇變化而結(jié)露和冰凍的地方,。不能受陽光直射,，不能放置于有腐蝕性氣體、可燃?xì)怏w,、油霧,、蒸汽或潮濕的環(huán)境中，不得在震動(dòng)過大的環(huán)境中,。

2.3.2 長期保管

購置分子泵后長期不使用的保管方法,，隨存放環(huán)境而不同。

一般按如下所述保管

首先滿足短時(shí)保管要求但是保管期超三個(gè)月時(shí),，要求周圍溫度不得高于30℃,，這

是因?yàn)榭紤]到電器元件不通電存放，溫度高時(shí)其特性易變壞,。

為了防止潮氣影響,，應(yīng)嚴(yán)格封存，還要在封存時(shí)放入干燥劑,，使封裝內(nèi)部的相對

濕度約在70%以下,。

3. 分子泵應(yīng)用簡介

分子泵是一種獲得高真空和超高真空機(jī)械式真空泵，其分為渦輪分子泵,、牽引分子泵和復(fù)合分子泵三大類,。渦輪分子泵是通過高速旋轉(zhuǎn)的多級渦輪轉(zhuǎn)子葉片和靜止渦輪葉片的組合進(jìn)行抽氣的,，在分子流區(qū)域內(nèi)對被抽氣體產(chǎn)生很高的壓縮比，從而獲得所需要的真空性能,；牽引分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子表面帶動(dòng)氣體分子沿著一定形狀的槽隙運(yùn)動(dòng),，從而實(shí)現(xiàn)壓縮氣體，其在分子流到混合流之間有很高的壓縮比,，從而獲得所需的真空性能,；復(fù)合分子泵結(jié)合了二者的優(yōu)點(diǎn)，利用了兩種結(jié)構(gòu)的有機(jī)結(jié)合和合理過渡,，實(shí)現(xiàn)了分子流,、混合流的高壓縮比，從而獲得所需的真空性能,。分子泵對被抽氣體無選擇性,、無記憶效應(yīng)、操作簡單,、使用方便,。由于對分子量大的氣體具有很高的壓縮比，因此在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中,，高真空區(qū)域不會(huì)受到油蒸汽的污染,，該泵不需要冷阱和油擋板，即可獲得清潔的高真空和超高真空環(huán)境,。因此,，它廣泛應(yīng)用于如下工業(yè)生產(chǎn)和探索研究的各個(gè)領(lǐng)域。

物理表面分析儀器的真空獲得,；

加速器技術(shù)的真空獲得,；

等離子體技術(shù)的真空獲得；

航空航天的模擬環(huán)境的真空獲得,；

電子,、電器元件制造的真空獲得；

各種表面鍍膜的真空獲得等,。

4. 分子泵型號,、配件、適配電源

4.1 分子泵型號說明

我公司生產(chǎn)的分子泵的型號使用一串字母數(shù)字和符號共同組成,，具體說明如下：

-□/□□

特殊代號

額定抽速（L/s）

氣體入口口徑

類型代號

說明：

類型代號： FB——渦輪分子泵,；

FF——復(fù)合分子泵。

特殊代號： 無字符——油潤滑水冷卻分子泵

F——風(fēng)冷分子泵

Z——脂潤滑分子泵

N——耐腐蝕分子泵

4.2 分子泵適配電源

每種型號分子泵必須配用其專用電源,，否則可能造成分子泵損壞,。若由此引起的損失本公司概不負(fù)責(zé)。適配電源見表1,。

表1 分子泵適配電源表

序號

分子泵型號

適配電源

1

FF-160/620,、FF-160/620F,、FF-160/620N

FK-620或FK-Ⅰ、Ⅱ,、Ⅲ

2

FF-160/750,、FF-160/750Z

FK-750或FK-Ⅰ、Ⅱ,、Ⅲ

3

FF-200/1200

FK-1200或FK-Ⅰ,、Ⅱ、Ⅲ

4

FB-250/1600,、FF-250/1600,、FF-250/2000

FK-1600或FK-Ⅰ、Ⅱ,、Ⅲ

5

FB-400/4200

FK-4200或FK-Ⅰ,、Ⅱ、

XC 系列分子泵使用說明書

5

4.3分子泵,、配件及資料

表2 分子泵、配件及資料表

4.4 分子泵選購件

表3 選購配件表

序號名 稱單位規(guī)格數(shù)量備 注

FF-160/750專用

FF-200/1200專用

FB-250/1600專用

2 螺栓,、螺母,、墊圈套M8×55 按型號確定CF高真空接口專用

3 CF銅墊圈個(gè)按型號訂1

4 排氣口盲板、卡箍套KF40 1

4 FF-160/750中LF接口分子泵

5 FF-200/1200中LF接口分子泵

6 FB-250/1600中LF接口分子泵

10 FB-400/4200

1

用戶可根據(jù)

使用條件的

不同,，選擇

的*少用量

5 LF專用卡鉗個(gè)

1 分子泵泵體加熱器套

注：用戶可以根據(jù)自己的使用情況,，如：要獲得超高及以上真空、泵殼必須烘烤等,，

另外單獨(dú)選購配件,。

序 號名 稱單位數(shù) 量備 注

1 分子泵臺1

2 防護(hù)網(wǎng)個(gè)1

3 使用說明書份1

4 檢驗(yàn)合格證份1

5 保修卡份1

6 分子泵潤滑油瓶1

7 O型密封圈個(gè)1 膠圈密封LF接口專用

XC 系列分子泵使用說明書

6

5. 分子泵技術(shù)說明及簡圖

分子泵技術(shù)說明包括技術(shù)數(shù)據(jù)、抽速曲線,、壓縮比曲線,、安裝簡圖、排氣口簡圖五部分,。

5.1 分子泵技術(shù)數(shù)據(jù)

表4 分子泵技術(shù)數(shù)據(jù)表

分子泵型號FB-400/4200

進(jìn)氣口法蘭LF100 CF100 LF160 CF160 LF160 CF160 LF160 CF160 LF200 CF200 LF200 CF200 LF250 CF250 LF250 CF250 LF250 CF250 LF400

抽氣速率(l/s) 180 180 4200升/秒

N2 108

H2 5?102

極限壓強(qiáng)pa ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤6?10-6 ≤6?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤1?10-6 ≤1?10-7 ≤8?10-7

排氣口法蘭LF100

啟動(dòng)時(shí)間(min) ≤18分鐘

額定轉(zhuǎn)速(rpm) 16200轉(zhuǎn)/分

振動(dòng)值(mm) ≤0.2mm

建議采用前級泵30升/秒

充油量320ml

安裝方式豎直±5°

冷卻方式及溫度水冷,、水溫?25℃

泵體烘烤溫度<120℃

環(huán)境溫度5℃∽40℃

重量(kg) 7 8 21.4/24 22/24.6 21 21.6 17.6 18.2 31 32 31 32 39 42 35/37 38/40 36 39 108kg

FF-160/750

FB-250/1600

FF-250/1600

壓縮比

FF-200/1200

750升/秒1200升/秒1600升/秒

N2 109

H2 5?103

N2 109

H2 5?103

N2 108

H2 5?102

FF-160/620、

,、620F,、620N

620升/秒

N2 109

≤0.1mm

8升/秒12升/秒15升/秒

110ml

KF40 KF40

≤6分鐘≤9分鐘

36000轉(zhuǎn)/分24000轉(zhuǎn)/分

KF40

≤7分鐘

27000轉(zhuǎn)/分

水冷、水溫?25℃

<120℃

H2 5?103

KF40

≤6分鐘

30000轉(zhuǎn)/分

≤0.1mm

5℃∽40℃ 5℃∽40℃

豎直±5° 豎直±5°

5℃∽40℃

水冷,、水溫?25℃ 水冷,、水溫?25℃ 水冷、水溫?25℃

<120℃ <120℃ <120℃

豎直±5°

5℃∽40℃

≤0.1mm ≤0.1mm

110ml 110ml

FF-250/2000

2000升/秒

N2 109

H2 5?103

KF40

5℃∽40℃

FF-200/1300

1300升/秒

N2 109

H2 5?103

KF40

≤8分鐘

30000轉(zhuǎn)/分

≤0.1mm

12升/秒

110ml

豎直±5°

水冷,、水溫?25℃

<120℃

5℃∽40℃

<120℃

8升/秒

110ml

豎直±5°

≤0.1mm

4升/秒

無

豎直±5°

水冷,、水溫?25℃

<120℃

5℃∽40℃

FF-160/750Z

750升/秒

N2 109

H2 5?103

KF40

≤6分鐘

36000轉(zhuǎn)/分

≤0.1mm

8升/秒

無

任意角度

水冷,、水溫?25℃

≤10分鐘

27000轉(zhuǎn)/分

≤0.1mm

15升/秒

110ml

<120℃

5℃∽25℃

風(fēng)冷

<120℃

5℃∽25℃

FF-250/1800

、1800F

1800升/秒

N2 109

H2 5?103

KF40

≤9分鐘

24000轉(zhuǎn)/分

≤0.1mm

15升/秒

110ml

豎直±5°

水冷,、水溫?25℃

FF-100/180Z

N2 109

H2 5?103

KF16

任意角度

≤4分鐘

48000轉(zhuǎn)/分

注：1.分子泵極限壓強(qiáng)的獲得,，是按國家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的測試規(guī)程，對泵體和測試罩進(jìn)行充分烘烤(48 小時(shí)),，在測試罩內(nèi)得到的*低壓強(qiáng),，即測試罩內(nèi)所有殘余氣體壓強(qiáng)的總和;

2.分子泵的極限壓強(qiáng)與其所使用的前級泵的工作壓強(qiáng)、有效抽速及分子泵高真空端的進(jìn)氣口法蘭密封形式有關(guān);

3.防腐分子泵充保護(hù)氣體為φ 6 的快插接頭,，用φ 6×1.2 的PU 管連接,，不用時(shí)可直接用專用堵堵上，風(fēng)冷分子泵的環(huán)境溫度要求：5℃～25℃,。

XC 系列分子泵使用說明書

7

5.2 抽速曲線圖

10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 101 102

0

200

400

600

800

抽速(L/s)

壓強(qiáng)(Pa)

圖1 FF-160/750 對氮?dú)獬樗偾€

圖2 FF-200/1200 對氮?dú)獬樗偾€

XC 系列分子泵使用說明書

8

10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 101 102

0

200

400

600

800

1000

1200

1400

1600

1800

抽速(L/s)

壓強(qiáng)(Pa)

圖3 FB-250/1600 對氮?dú)獬樗偾€

10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 101 102

0

500

1000

1500

2000

2500

3000

3500

4000

4500

5000

抽速(L/s)

壓強(qiáng)(Pa)

圖4 FB-400/4200 對氮?dú)獬樗偾€

XC 系列分子泵使用說明書

9

5.3 壓縮比曲線圖

10-1 100 101 102 103

102

103

104

105

106

107

108

109

1010

壓縮比

前級壓強(qiáng)(Pa)

圖5 FF-160/620,、FF-160/750、FF-200/1200,、FF-250/2000 對氮?dú)饧皻錃獾膲嚎s比

曲線

圖6 FB-250/1600,、FB-400/4200 對氮?dú)饧皻錃獾膲嚎s比曲線

10-2 10-1 100 101 102

101

102

103

104

105

106

107

108

109

壓縮比

前級壓強(qiáng)(Pa)

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10

5.4分子泵安裝簡圖

圖7、FF-160/750Z安裝簡圖

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11

圖8,、FF-160/620F安裝簡圖

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12

圖9,、FF-160/620、FF-160/620F,、FF-160/620N,、FF-160/750安裝簡圖

XC 系列分子泵使用說明書

13

圖10 FF-200/1200、FF-200/1300安裝簡圖

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14

圖11,、FB-250/1600,、FF-250/1600安裝簡圖

XC 系列分子泵使用說明書

15

圖12、FB-400/4200安裝簡圖

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16

5.5 分子泵排氣口簡圖

圖13 KF40 接口

圖14 KF50 接口

圖15 LF100 接口

XC 系列分子泵使用說明書

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6.安裝

6.1 注意事項(xiàng)

分子泵不能用于抽除液體或者帶有粉塵,、固體顆粒的氣體,；

除了耐腐蝕型泵以外，其他任何分子泵不能用于抽除腐蝕性氣體,，耐腐蝕型泵在抽除腐蝕性氣體時(shí),，必須給分子泵的保護(hù)氣體入口連續(xù)通惰性保護(hù)氣體如氮?dú)獾龋冶糜褪褂梦夜咎峁┑膶Ｓ媚透g分子泵油,。

確認(rèn)分子泵與電源相配套,。每種泵都只能使用本說明書中規(guī)定的與之匹配的電源供電，否則造成的損失,，本公司概不負(fù)責(zé),。

確認(rèn)安裝環(huán)境必須滿足如下條件：

1) 泵體表面徑向和軸向磁場強(qiáng)度均不得大于3mT(30Gs)；

2) 環(huán)境放射性強(qiáng)度<105rad；

3) 環(huán)境溫度為5~40℃,；

4) 空氣相對濕度：≤85%,；

5) 電壓：220±22V，頻率：50±1Hz,；

6) 海拔：≤3000米,。

安裝前應(yīng)檢查分子泵運(yùn)輸中是否被損壞：打開泵高真空端法蘭蓋板，戴好手套,，撥動(dòng)渦輪轉(zhuǎn)子,，應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)靈活，無異?，F(xiàn)象,。若存在異常現(xiàn)象,，應(yīng)及時(shí)通知我公司,，不得自行處理，否則由此帶來損失我公司概不負(fù)責(zé),。

不允許將分子泵長期置于大氣狀態(tài)下存放,，在打開進(jìn)氣口和排氣口盲板時(shí)，應(yīng)注意真空衛(wèi)生要求,，嚴(yán)禁雜物,、灰塵等落入泵內(nèi)。

安裝環(huán)境應(yīng)符合技術(shù)要求和真空衛(wèi)生要求,。

6.2 連接安裝

6.2.1真空聯(lián)接

分子泵的進(jìn)氣口和排氣口法蘭采用國際標(biāo)準(zhǔn)見表4分子泵技術(shù)數(shù)據(jù)表，尺寸見分子泵安裝簡圖和分子泵排氣口簡圖,。注意：法蘭密封面不得有劃痕,、刀口不得磕碰。

泵的聯(lián)接可利用進(jìn)氣口法蘭吊裝或?qū)⒈弥糜诨矫嫔?，但F-400/4200不建議吊裝,，若一定要吊裝必須用活套法蘭（訂貨時(shí)單獨(dú)訂購）固定。

分子泵的進(jìn)氣口法蘭通過金屬波紋管與系統(tǒng)聯(lián)接時(shí),，分子泵必須固定,。

為保護(hù)分子泵轉(zhuǎn)子，防止外界物質(zhì)落入泵內(nèi),，可在泵口裝上防護(hù)網(wǎng),，但裝入此網(wǎng)后，抽速約降低15％左右,。

前級泵與分子泵的聯(lián)接應(yīng)采用具有減震效應(yīng)的金屬波紋管,，管路上應(yīng)裝有隔斷放氣閥，作為停機(jī)時(shí)對前級機(jī)械泵放氣。放氣閥可選用手動(dòng)閥或電磁閥,。放氣過程的操作請參照停機(jī)部分,。為保護(hù)泵體真空衛(wèi)生，防止潮濕,，放氣時(shí),，可通氮?dú)饣蚋稍锟諝狻?/p>

注意！,！

分子泵吊裝時(shí),，氣體入口與真空腔體之間的連接管道不得長于200mm，否則可能產(chǎn)生焊縫拉裂,、振動(dòng)放大效應(yīng),，對真空系統(tǒng)和分子泵產(chǎn)生危害；

XC 系列分子泵使用說明書

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法蘭刀口不得磕碰劃傷,、密封面不得有徑向劃痕,，否則會(huì)降低抽氣效果。

6.2.2 冷卻水連接

采用清潔低沉淀的自來水,，也可采用冷卻水系統(tǒng),。對于高沉淀或腐蝕性水建議采用循環(huán)水系統(tǒng)，以防水管堵塞或腐蝕,。冷卻水流量不應(yīng)低于1升/分,，冷卻水入口壓力為0.1～0.2MPa，溫度不應(yīng)高于25℃,，溫度較高時(shí),，應(yīng)加大冷卻水流量。水嘴所接的水管為φ10x1mm,， 分子泵的工作環(huán)境溫度為不大于40℃,。

6.2.3 加入潤滑油

該泵出廠時(shí)為了運(yùn)輸中的安全，已把潤滑油卸去,。

注意?。?/p>

用戶在初次使用分子泵時(shí)必須先加入潤滑油,。

操作過程如下：

a. 用扳手將緊固油池的螺釘松開,，取下油池。

b. 從濾網(wǎng)外向油池中注入規(guī)定量的分子泵潤滑油,，即油面應(yīng)處于油標(biāo)上下限之間,，不得低于油標(biāo)下限，以保證軸承的良好潤滑,，油標(biāo)為無色標(biāo)志線,。

c. 將油池緊固到泵體上,。安裝時(shí)注意膠圈的位置和衛(wèi)生，螺釘對稱擰緊,，否則容易漏氣,。

注意！,！

裝油池時(shí),，要注意對稱上緊，避免漏氣,。

分子泵潤滑油采用不易裂變的低飽和蒸汽壓的專用分子泵潤滑油,，不得用其他油品代替。潤滑油應(yīng)潔凈,，嚴(yán)禁污物,、雜質(zhì)和塵埃落入。必要時(shí)應(yīng)對潤滑油進(jìn)行過濾,。

注意?。?/p>

禁止使用其它的代用潤滑油,，違規(guī)操作的任何后果,，用戶自行承擔(dān)。

6.2.4 電纜聯(lián)接

電源電纜插頭與分子泵下部的電源插座聯(lián)接,。聯(lián)接時(shí)注意對準(zhǔn)槽口方向插入,，然后利用螺紋擰緊到位，請不要過分用力,，以防插針彎折,。

7 運(yùn)行

7.1 運(yùn)行前注意事項(xiàng)

電源必須是分子泵配套電源；

各項(xiàng)安裝都已嚴(yán)格完成,；

檢查各種連接無誤,。

7.2 分子泵啟動(dòng)

7.2.1 分子泵啟動(dòng)方式確定

分子泵啟動(dòng)方式是指分子泵與前級泵的啟動(dòng)順序，可分為同時(shí)啟動(dòng)和定壓力啟動(dòng)兩種,。

一般情況下，分子泵和前級泵可同時(shí)啟動(dòng),，以防前級泵油上返,。如果真空系統(tǒng)容

XC 系列分子泵使用說明書

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積過大，應(yīng)先啟動(dòng)前級泵,，在真空系統(tǒng)壓強(qiáng)P達(dá)到200帕?xí)r,，即啟動(dòng)分子泵。判定標(biāo)準(zhǔn)如下：被抽系統(tǒng)為V[m3],，前級泵抽速為Sr[m3/h]

同時(shí)啟動(dòng)：Sr/V＞40[h-1]

定壓力啟動(dòng)：Sr/V≤40[h-1]

定壓力啟動(dòng)壓力：P=e(Sr/6V)×100[Pa]

7.2.2 啟動(dòng)冷卻水系統(tǒng)

開啟冷卻水系統(tǒng),，并檢查出水質(zhì)量、水壓、流量,、溫度等參數(shù)以及管路連接是否有漏水現(xiàn)象,，如不合格及時(shí)調(diào)整和處理。

7.2.3 啟動(dòng)分子泵

根據(jù)7.2.1確定啟動(dòng)方式后,，啟動(dòng)前級泵,，同時(shí)確認(rèn)前級泵與真空系統(tǒng)無誤后，按動(dòng)分子泵電源的“電源”按鈕,，指示燈亮,，等顯示屏顯示紅色數(shù)字后，按下“啟動(dòng)”按鈕,，該按鈕指示燈亮,，分子泵開始啟動(dòng)。

注意??！

當(dāng)分子泵“電源”指示燈和“外控”指示燈同時(shí)亮?xí)r，分子泵啟停不受“啟動(dòng)”按鈕控制,，由遠(yuǎn)程控制分子泵,。

正常情況下，分子泵啟動(dòng)時(shí)間不應(yīng)大于分子泵技術(shù)數(shù)據(jù)表中的啟動(dòng)時(shí)間,。由于軸承的磨損或真空系統(tǒng)有漏等原因會(huì)造成負(fù)載加大從而使加速時(shí)間加長,，用戶在使用中應(yīng)注意觀察加速時(shí)間，從而判斷泵的使用情況,。

7.3 烘烤

對于獲得10-4Pa的真空,，原則上不必烘烤（濕度較大地區(qū)需要烘烤）；對于獲得10-5Pa的真空,，只烘烤真空系統(tǒng)本身就足夠了,；對于獲得超高真空，真空系統(tǒng)和分子泵通常需要同時(shí)烘烤,。測量系統(tǒng)的烘烤應(yīng)充分,，否則會(huì)由于其放氣而影響測量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

烘烤應(yīng)在真空度低于0.5Pa,、分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)情況下進(jìn)行,。

泵體的烘烤溫度參見分子泵技術(shù)數(shù)據(jù)表，如果超過烘烤溫度,，可能會(huì)造成分子泵的損壞,，真空系統(tǒng)的烘烤溫度一般小于300℃。

烘烤的時(shí)間長短,，根據(jù)系統(tǒng)及泵的污染程度和預(yù)期達(dá)到的極限工作壓強(qiáng)而定,，但*短不得少于4小時(shí),。

7.4 停機(jī)

按一下亮著的“啟動(dòng)”按鈕，松開后自動(dòng)彈開“啟動(dòng)”按鈕,，同時(shí)該按鈕的指示燈熄滅,，分子泵開始在電源的剎車作用下逐漸停止轉(zhuǎn)動(dòng)。

注意：停機(jī)時(shí)不要馬上切斷電源,，否則停機(jī)時(shí)間很長,。

真空系統(tǒng)停止工作時(shí)，一般應(yīng)將分子泵充氣到大氣狀態(tài),，以免前級對分子泵及真空室造成污染,。

停機(jī)后，若要保持真空室的真空,，則應(yīng)用分子泵與真空室之間的閥門來實(shí)現(xiàn),，不宜使分子泵長時(shí)間保持真空，以至前級機(jī)械泵油蒸汽反擴(kuò)散入真空室,。

分子泵停轉(zhuǎn)后,，關(guān)閉冷卻水，以防在泵內(nèi)形成冷凝水,。