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日本ULVAC公司的蒸發(fā)源(EB槍)均采用磁場(chǎng)偏轉(zhuǎn).并防止蒸發(fā)材料污染的構(gòu)造.

特點(diǎn)推薦EGN系列平頂結(jié)構(gòu)如下:

特點(diǎn):

一平頂結(jié)構(gòu).防止飛濺.

1平頂結(jié)構(gòu)能讓從坩堝中產(chǎn)生的二次電子很難通過(guò)反射飛濺打到基片上.造成污染.

2平頂結(jié)構(gòu)使得人們追求的180度

偏轉(zhuǎn)成為可能.平項(xiàng)結(jié)構(gòu)的電子槍,，頂端不易附著沉積物.既便長(zhǎng)期使用后會(huì)有少許生成，因其沒(méi)有

任何羈絆,，使得清潔非常容易.

二易于拆解.方便維護(hù).

1通過(guò)結(jié)構(gòu)的優(yōu)化,，減少使用瑣碎零件的數(shù)量.

意味著后期維護(hù)工作的大幅輕減.零件數(shù)量減少35%，既將來(lái)的清洗維護(hù)的工作量減少35%,，

2采用新式結(jié)構(gòu)型零件.

采用了兩點(diǎn)定位的導(dǎo)軌定位銷(xiāo).不會(huì)造成裝錯(cuò)的現(xiàn)象.讓得普通的操作人員也可以進(jìn)行拆解/組裝電子槍.

降低維護(hù)門(mén)檻.

3采用長(zhǎng)壽命燈絲.

燈絲壽命是其他公司的三倍.能減少因斷絲而造成的不必要的意外停機(jī).

三數(shù)字式控制系統(tǒng)及快速的滅弧重啟系統(tǒng).

1關(guān)于通過(guò)采用數(shù)字化的控制界面調(diào)整發(fā)射功率,， 調(diào)整是電子束形狀.保證掃描圖形.并有多種人性化

用戶可操作界面.

2對(duì)于蒸發(fā)材料上生成氧化物后，電弧不穩(wěn),，或干脆滅弧的現(xiàn)象,，配備有快速重啟功能.速度是其他公司的二十倍之快.

EGN-206M/406MEGP-1G

維護(hù)用備件數(shù)量精減.平頂構(gòu)造180度偏轉(zhuǎn)，長(zhǎng)壽命燈絲.

冷卻均勻.保證高鍍膜速率.精準(zhǔn)轉(zhuǎn)向.穩(wěn)定的長(zhǎng)時(shí)間

輕松方便地調(diào)整發(fā)射角度保持電子束流中心位置.

安全的地線設(shè)計(jì)和形狀.維護(hù)后裝回過(guò)程

由專(zhuān)業(yè)制具輔助.輕松完成

坩堝定位.