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日本ULVAC公司生產(chǎn)的DC電源，除用于AL,，Ni等DC磁控濺射外,，組合異常放電防止器A2K使用，可脈沖正向電壓
對SiN,，DLC等反應(yīng)性DC濺射工藝.中和其靶材表面電荷.消除滅弧,，保證高速成膜.還可以作為偏壓電源使用.
針對已成型濺射工藝設(shè)備.進行加裝及更換均可.實現(xiàn)低成本的前提下增加產(chǎn)量，保證成品率.
DCS系列,，DPG系列的型號參數(shù):
型號DCS0052BDCS0202BDCS0402BDPG-10DPG-10HDPG-20DPG-20HDPG-30R
額定功率500W2KW4KW10KW10KW20KW20KW30KW
**輸出電壓800V同左同左同左1000V800V1000V1200V
**輸出電流1.25A5A10A25A16.7A50A33.3A55A
無負荷電壓-1100V以上〃〃〃〃〃〃〃
輸入電壓95~121V單相190~242V3相AC208V同左同左同左同左AC380V~480V
190~242V單相
使用溫度范圍0~40度同左同左10~40度同左同左同左同左
使用濕度范圍0~90%同左同左0~90%同左同左同左同左
控制器內(nèi)置同左同左同左同左同左同左選項.
并聯(lián)**功率獨立同左同左**12臺(總功率120~240KW)240KW
暫無數(shù)據(jù),！
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