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EXT75DX 是一種是混合軸承復(fù)合分子泵，它將經(jīng)實(shí)踐證明的陶瓷機(jī)械下軸承,、干式永磁上軸承和 Holweck 分級技術(shù)與帶來額外便利性的板上 24 V 控制器結(jié)合在了一起,，該控制器可實(shí)現(xiàn)與 TAG 和 TIC 控制器兼容的并行和串行通信。 它隨附 aDN40NW,、ISO63,、DN63CF 或 ISO100 入口法蘭，N2 抽速**可達(dá) 66ls-1,。 基本的泵系統(tǒng)可能需要 EXT75DX 泵,、TAG 或 TIC 控制器，或者空氣或水冷卻附件以及合適的前級泵,。功能和優(yōu)勢通過板上智能控制可以降低運(yùn)行功耗,，減少運(yùn)行成本。此外,，這種控制器還增加了電子制動,、智能冷卻風(fēng)扇和自動排氣選件。與 Edwards TIC 渦輪與儀表控制器兼容意味著您可以添加一個或多個真空計而不需要額外的顯示控制器,。并行或串行接口,。并行模式允許使用傳統(tǒng)控制信號界面。串行模式提供 RS232,，可以全面控制泵狀態(tài),，并連續(xù)監(jiān)控：排氣閥控制設(shè)置運(yùn)行速度指示待機(jī)運(yùn)行速度可編程功率設(shè)置功耗泵/控制器溫度標(biāo)配的入口篩網(wǎng)。用于清潔泵,、減少振動和**程度降低磨損的永磁上軸承,。手動排氣閥（電磁閥操作的型號可以用于全自動排氣）。 Holweck 分級實(shí)現(xiàn)高吞吐量和高前級壓力容差,。氣體清洗口提供制程氣體稀釋以保護(hù)電機(jī)和下軸承,。技術(shù)數(shù)據(jù)入口法蘭 DN63ISO-K、DN63CF,、DN40NW 或 DN100ISO-K抽速 ISO63/63CF (DN40NW)(ISO100) N2 61 ls-1 (42 ls-1) (66 ls-1)He 57 ls-1 (49 ls-1) (59 ls-1)H2 53 ls-1 (48 ls-1) (54 ls-1)壓縮比 N2 >1 × 1011He 1 x 106H2 5 x 104極限壓力 (mbar) 帶有 RV 前級泵 ISO/CF <5 x 10-9 / 5 x 10-10帶有隔膜前級泵 ISO/CF <5 x 10-8 / 5 x 10-9出口法蘭 DN16NW推薦前級泵* RV5/nXDS5i排氣口 1/8 英寸 BSP吹掃口 1/8 英寸 BSP**連續(xù)進(jìn)氣口壓力（輕氣體泵送）? 水冷卻（15 °C 水,，40 °C 環(huán)境溫度） 2 × 10-2 mbar強(qiáng)制空氣冷卻，35°C 環(huán)境溫度 1 × 10-2 mbar泵旋轉(zhuǎn)速度 標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度 90000 rpm待機(jī)旋轉(zhuǎn)速度 在 49500 至 90000 rpm 之間變化 （63000 rpm 默認(rèn)）可編程功率限制設(shè)置 可在 50 至 120 W 之間變化（默認(rèn)為 80 W）到 90% 速度的啟動時間 110 s ?模擬輸出 轉(zhuǎn)速,；功耗,；泵溫度；控制器溫度冷卻方法# 強(qiáng)制空氣/水強(qiáng)制空氣冷卻的環(huán)境空氣溫度 5 - 35 °C*小冷卻水流速（15 °C 的水） 15 l h-1水溫范圍 10 - 20 °C**入口法蘭溫度 100 °C操作姿態(tài) 垂直且豎直,，直到 水平1 米處的噪音級別 <50 dB(A)泵可以承受的**磁場 5 mT推薦控制器 TIC100 分子泵和儀器控制器靜止電功率 10 W