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離子濺射儀噴金儀鍍膜儀SD-3000
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北京博遠微納科技有限公司

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SD-3000型離子濺射儀外觀亮麗做工精致,旋鈕式定時器檔位清晰,,手感舒適,;

特殊定制的真空指示和電流指示表頭沉穩(wěn)大;

前面板上的微泄漏氣閥門可以連接多種氣體,;

調(diào)節(jié)濺射電流大小,,成膜速度快,,質(zhì)量好;

高壓輸出可使成膜更加牢固快速,。

功能控制和定時皆由CPU調(diào)度,,使用范圍廣。

工作時結(jié)合內(nèi)部自動控制電路很容易控制真空室壓強,、電離電流及選擇所需的電離氣體,,獲得**鍍膜效果。

配有高位定性的飛躍真空泵,。

SD-3000型是一款針對做電極研究和半導(dǎo)體研究的儀器,,相對于基礎(chǔ)型濺射儀,SD-3000型的鍍層和樣品之間更貼合,,更有附著力,,以便后續(xù)的研究。

需要鍍膜的樣品

1,、電子束敏感的樣品:

主要包括生物樣品,,塑料樣品等。S EM中的電子束具有較高能量,,在與樣品的相互作用過程中,,它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對電子束敏感的材料,,那這種相互作用會破壞部分甚至整個樣品結(jié)構(gòu),。這種情況下,用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護層的作用,,防止此類損傷,;

2、非導(dǎo)電的樣品:

由于樣品不導(dǎo)電,,其表 面帶有“電子陷阱”,, 這種表面上的電子積累 被稱為“充電”。為了 消除荷電效應(yīng),,可在樣 品表面鍍一層金屬導(dǎo)電 層,,鍍層作為一個導(dǎo)電 通道,將充電電子從材 料表面轉(zhuǎn)移走,,消除荷 電效應(yīng),。在掃描電鏡成 像時,濺射材料增加信 噪比,,從而獲得更好的成像質(zhì)量,。

3、新材料:非導(dǎo)電材料和半導(dǎo)體材料

參數(shù):

?主機規(guī)格:340mm×390mm×300mm(W×D×H)

?靶(上部電極):金:50mm×0.1mm(D×H)

?靶材:Au(標配)

?樣品室:硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm(D×H)

?靶材尺寸:Ф50mm

?真空指示表: **真空度:≤ 4X10-2 mbar

?離子電流表: **電流:50mA

?定時器: *長時間:1-360s

?微型真空氣閥:可連接φ3mm軟管

?可通入氣體: 多種

?**電壓: -2800 DCV

?機械泵:標準配置2L/S(國產(chǎn)VRD-8)

特點:

1,、簡單,、經(jīng)濟,、可靠、外觀精美,。

2,、可調(diào)節(jié)濺射電流和真空室壓強以控制鍍膜的速率和顆粒的大小。

3,、SETPLASMA手動啟動按鈕可預(yù)先設(shè)置好壓強和濺射電流避免對膜造成不必要的損傷,。

4、真空保護可避免真空過低造成設(shè)備短路,。

5,、同時可以通過更換不同的靶材(金、鉑,、銥,、銀、銅等),,以達到更細顆粒的涂層,。

6、通過通入不同的惰性氣體以達到更純凈的涂層,。

7,、涂層牢固,特別適用于非導(dǎo)體材料實驗電極制作和半導(dǎo)體材料的研究,。

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