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SD-3000型離子濺射儀外觀亮麗做工精致,，旋鈕式定時(shí)器檔位清晰,，手感舒適；

特殊定制的真空指示和電流指示表頭沉穩(wěn)大,；

前面板上的微泄漏氣閥門可以連接多種氣體,；

調(diào)節(jié)濺射電流大小，成膜速度快,，質(zhì)量好,；

高壓輸出可使成膜更加牢固快速。

功能控制和定時(shí)皆由CPU調(diào)度,，使用范圍廣,。

工作時(shí)結(jié)合內(nèi)部自動(dòng)控制電路很容易控制真空室壓強(qiáng),、電離電流及選擇所需的電離氣體，獲得**鍍膜效果,。

配有高位定性的飛躍真空泵,。

SD-3000型是一款針對(duì)做電極研究和半導(dǎo)體研究的儀器，相對(duì)于基礎(chǔ)型濺射儀,，SD-3000型的鍍層和樣品之間更貼合,，更有附著力，以便后續(xù)的研究,。

需要鍍膜的樣品

1,、電子束敏感的樣品:

主要包括生物樣品，塑料樣品等,。S EM中的電子束具有較高能量,，在與樣品的相互作用過程中，它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品,。如果樣品是對(duì)電子束敏感的材料,，那這種相互作用會(huì)破壞部分甚至整個(gè)樣品結(jié)構(gòu)。這種情況下,，用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護(hù)層的作用,，防止此類損傷；

2,、非導(dǎo)電的樣品:

由于樣品不導(dǎo)電,，其表 面帶有“電子陷阱”， 這種表面上的電子積累 被稱為“充電”,。為了 消除荷電效應(yīng),，可在樣 品表面鍍一層金屬導(dǎo)電 層，鍍層作為一個(gè)導(dǎo)電 通道,，將充電電子從材 料表面轉(zhuǎn)移走,，消除荷 電效應(yīng)。在掃描電鏡成 像時(shí),，濺射材料增加信 噪比,，從而獲得更好的成像質(zhì)量。

3,、新材料:非導(dǎo)電材料和半導(dǎo)體材料

參數(shù)：

?主機(jī)規(guī)格：340mm×390mm×300mm（W×D×H）

?靶（上部電極）：金：50mm×0.1mm（D×H）

?靶材：Au（標(biāo)配）

?樣品室：硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm（D×H）

?靶材尺寸：Ф50mm

?真空指示表： **真空度：≤ 4X10-2 mbar

?離子電流表： **電流：50mA

?定時(shí)器： *長(zhǎng)時(shí)間：1-360s

?微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管

?可通入氣體： 多種

?**電壓： -2800 DCV

?機(jī)械泵：標(biāo)準(zhǔn)配置2L/S（國(guó)產(chǎn)VRD-8）

特點(diǎn)：

1,、簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì),、可靠,、外觀精美。

2,、可調(diào)節(jié)濺射電流和真空室壓強(qiáng)以控制鍍膜的速率和顆粒的大小,。

3,、SETPLASMA手動(dòng)啟動(dòng)按鈕可預(yù)先設(shè)置好壓強(qiáng)和濺射電流避免對(duì)膜造成不必要的損傷。

4,、真空保護(hù)可避免真空過低造成設(shè)備短路,。

5、同時(shí)可以通過更換不同的靶材（金,、鉑,、銥、銀,、銅等）,，以達(dá)到更細(xì)顆粒的涂層。

6,、通過通入不同的惰性氣體以達(dá)到更純凈的涂層,。

7、涂層牢固,，特別適用于非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作和半導(dǎo)體材料的研究。