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SD-900 型離子濺射儀外觀亮麗，做工精致,，旋鈕式定時器檔位清晰,，手感舒適；特殊定制的真空指示和電流指示表頭沉穩(wěn)大氣,；前面板上的微泄漏氣閥門可以連接多種氣體,；調(diào)節(jié)濺射電流大小，成膜速度快,，質(zhì)量好,；功能控制和定時皆由CPU調(diào)度，使用范圍廣,。

工作時結(jié)合內(nèi)部自動控制電路很容易控制真空室壓強,、電離電流及選擇所需的電離氣體，獲得**鍍膜效果,。

SD-900型是一款*常用的離子濺射儀,，是一切濺射儀的基礎(chǔ)。是以金屬靶材和樣品臺分別作為陰陽兩極,，在真空狀態(tài)下產(chǎn)生輝光放電,，使金原子與殘存的氣體不斷碰撞而沉積成薄膜?？梢允褂肁u,，Pt,，Cr,、Al、Cu等靶材。

具有成膜均勻,，操作簡單,，所需時間短，過程可控等優(yōu)點,。

配有高位定性真空泵

參數(shù)：

主機規(guī)格：300mm×360mm×380mm（W×D×H）

靶（上部電極）：50mm×0.1mm（D×H）

靶材：Au（標配）也可根據(jù)實際情況配備銀靶,、鉑靶等。

樣品室：硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm（D×H）

樣品臺尺寸：可安裝直徑50mm和直徑70mm的樣品臺,，也可根據(jù)自身要求定制樣品臺

靶材尺寸：Ф50mm

真空指示表： **真空度：≤ 4X10-2 mbar

離子電流表： **電流：50mA

定時器： *長時間：0-360S

微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管

可通入氣體： 多種

**電壓： -1600 DCV

機械泵：標準配置2L/S（國產(chǎn)VRD-8）

輸入電壓：220V(可做110V),，50HZ

特點：

1、簡單,、經(jīng)濟,、可靠、外觀精美,。

2,、可調(diào)節(jié)濺射電流和真空室壓強以控制鍍膜的速率和顆粒的大小。

3,、SETPLASMA手動啟動按鈕可預(yù)先設(shè)置好壓強和濺射電流避免對膜造成不必要的損傷,。

4、真空保護可避免真空過低造成設(shè)備短路,。

5,、同時可以通過更換不同的靶材（金、鉑,、銥,、銀、鈀等）,，以達到更細顆粒的涂層,。

6、通過通入不同的惰性氣體以達到更純凈的涂層,。

需要鍍膜的樣品

1,、電子束敏感的樣品:

主要包括生物樣品，塑料樣品等,。SEM中的電子束具有較高能量,，在與樣品的相互作用過程中，它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品,。如果樣品是對電子束敏感的材料,，那這種相互作用會破壞部分甚至整個樣品結(jié)構(gòu)。這種情況下,，用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護層的作用,，防止此類損傷,；

2、非導電的樣品:

由于樣品不導電,，其表 面帶有“電子陷阱”,， 這種表面上的電子積累 被稱為“充電”。為了 消除荷電效應(yīng),，可在樣 品表面鍍一層金屬導電 層,，鍍層作為一個導電 通道，將充電電子從材 料表面轉(zhuǎn)移走,，消除荷 電效應(yīng),。在掃描電鏡成 像時，濺射材料增加信 噪比,，從而獲得更好的成像質(zhì)量,。

3、新材料:非導電材料和半導體材料