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濺射蒸碳儀SD-900C
濺射蒸碳儀SD-900C

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北京

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北京博遠(yuǎn)微納科技有限公司

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SD-900C 型離子濺射儀外觀亮麗做工精致,是針對SEM用戶研制生產(chǎn)的一款既能濺射金,、銀,、銅、鉑又能蒸發(fā)碳膜的一機多用設(shè)備,。此款機器具有小巧方便操作簡單成膜效果好之優(yōu)點,,可以滿足廣大SEM用戶隨時樣品制備的需要。

工作時結(jié)合內(nèi)部自動控制電路很容易控制真空室壓強,、電離電流及選擇所需的電離氣體,,獲得**鍍膜效果。

離子濺射部分是比較常用的鍍膜方式,,是以金屬靶材和樣品臺分別作為陰陽兩極,,在真空狀態(tài)下產(chǎn)生輝光放電,使金原子與殘存的氣體不斷碰撞而沉積成薄膜,??梢允褂肁u,Pt,,Cr,、Al、Cu等靶材,。

具有成膜均勻,,操作簡單,所需時間短,,過程可控等優(yōu)點,。

熱蒸發(fā)部分是把待鍍膜的基片或工件置于真空室內(nèi),通過對鍍膜材料加熱使其蒸發(fā)氣化而沉積與基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝過程,。通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,,稱為熱蒸發(fā)鍍膜,熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史*悠久的鍍膜技術(shù)之一,。熱蒸發(fā)主要用于蒸發(fā)碳,。使用超純的碳纖維繩為嚴(yán)格的高分辨掃描電鏡、透射電鏡,、EBSD及探針分析提供高質(zhì)量的鍍膜處理,。因為碳原子能夠直接沉積在樣品表面而不發(fā)生橫向移動,所以碳能夠形成小于1nm的顆粒,。

參數(shù):

儀器尺寸 :主機 300mm×360mm×380mm(W×D×H)

蒸鍍 300mm×360mm×160mm(W×D×H)

真空樣品室: 硼硅酸鹽玻璃 160mm×110mm(D×H)

靶(上部電極):50mm×0.1mm(D×H)

濺射靶材:Au

濺射靶材大?。?#966;50mm

樣品臺:樣品臺尺寸可安裝直徑50mm和直徑70mm的樣品臺,樣品臺可調(diào)節(jié)高度。也可根據(jù) 自身要求定制樣品臺

濺射工作電壓:0-1600V (DC)可調(diào)

濺射電流:0-50mA

濺射定時:0-360S

蒸碳電流 0-100A(AC)

蒸發(fā)材料:碳纖維

蒸發(fā)工作電壓:0-30V

蒸發(fā)時間:0-1S微型真空氣閥:可連接φ3mm軟管

可通入氣體: 多種

輸入電壓:220V(可做110V),,50HZ

真空泵: 2升機械旋轉(zhuǎn)泵(國產(chǎn)VRD-8)

特點:

1,、簡單、經(jīng)濟(jì),、可靠,、外觀精美。

2,、可調(diào)節(jié)濺射電流和真空室壓強以控制鍍膜的速率和顆粒的大小,。

3、SETPLASMA手動啟動按鈕可預(yù)先設(shè)置好壓強和濺射電流避免對膜造成不必要的損傷,。

4、真空保護(hù)可避免真空過低造成設(shè)備短路,。

5,、同時可以通過更換不同的靶材(金、鉑,、銥,、銀、銅等),,以達(dá)到更細(xì)顆粒的涂層,。

6、碳纖維繩更加細(xì)膩均勻,、快速,,更有利于分析材料結(jié)構(gòu)

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