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新一體化鎢燈絲掃描電鏡 Axia ChemiSEM,，該儀器將微區(qū)成分分析與電鏡成像集成在同一平臺上,，快速提供所需微觀形貌及實時成分信息，幫助學術和工業(yè)用戶快速獲得全面,、可靠的數據,，準確執(zhí)行故障分析和缺陷檢測。
Axia ChemiSEM 主要技術參數及特點：
•通用型 SEM 系統(tǒng),，可涵蓋多種類型樣品,。可分析絕緣材料,、處理大而重（達10 kg）的樣品,，同時能夠分析常規(guī)的小尺寸樣品。
•靈活性 SEM 系統(tǒng),，支持各類功能附件,。
•使用便捷，不依賴于用戶操作水平,、能夠便捷提供元素或化學信息,。
•高度自動化，自動對中技術確保系統(tǒng)始終處于**工作狀態(tài),，用戶指南及撤銷功能幫助用戶更輕松操作系統(tǒng),。
•處理效率**：實時定量成分分析成像，更快獲得定量分析數據,。
•分辨率：3nm@30kV,，8nm@3kV
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