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Apreo

功能*為豐富的高性能 SEM

Apreo 復(fù)合透鏡結(jié)合了靜電和磁浸沒技術(shù)，可產(chǎn)生****的高分辨率和材料對比度,。

Apreo 是研究納米顆粒,、催化劑、粉末和納米器件的理想平臺,，而不會降低磁性樣品性能,。傳統(tǒng)的高分辨率 SEM 透鏡技術(shù)分為兩類：磁浸沒或靜電。FEI **將兩種技術(shù)結(jié)合到一個儀器中,。這樣做所產(chǎn)生的成效遠遠超過任一種鏡筒的個體性能,。兩種技術(shù)均使電子束形成細小探針，以提高低電壓下的分辨率,，并使信號電子進入鏡筒,。通過將磁透鏡和靜電透鏡組合成一個復(fù)合透鏡，不但提高了分辨率,，還增加了特有的信號過濾選項,。靜電-磁復(fù)合末級透鏡在 1 kV 電壓下的分辨率為 1.0 nm（無電子束減速或單色器）。

Apreo 擁有透鏡內(nèi)背散射探測器 T1,，其位置緊靠樣品以便盡可能多地收集信號,，從而確保在很短的時間內(nèi)采集數(shù)據(jù)。與其他背散射探測器不同,，這種快速的探測器始終可保證良好的材料對比度,，在導(dǎo)航時、傾斜時或工作距離很短時也不例外,。在敏感樣品上,，探測器的價值凸現(xiàn)出來，即使電流低至幾 pA,，它也能提供清晰的背散射圖像,。復(fù)合末級透鏡通過能量過濾實現(xiàn)更準(zhǔn)確的材料對比度以及絕緣樣品的無電荷成像，進一步延伸了 T1 BSE 探測器的潛在價值。它還提供了流行選項來補充其探測能力,，例如定向背散射探測器(DBS),、STEM 3+ 和低真空氣體分析探測器 (GAD)。所有這些探測器都擁有****的軟件控制分割功能,，以便根據(jù)需求選擇*有價值的樣品信息,。

每個 Apreo 都按標(biāo)準(zhǔn)配備各種用以處理絕緣樣品的策略，包括：高真空技術(shù),，例如 SmartSCAN™,、漂移補償幀積分(DCFI) 和電荷過濾。對于*有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用,，Apreo 可提供電荷緩解策略,。其中包括可選的低真空（**為 500 Pa）策略，通過經(jīng)現(xiàn)場驗證的穿鏡式差分抽氣機構(gòu)和專用低真空探測器,，不但可以緩解任何樣品上的電荷,，還能提供**的分辨率和較大的分析電流。

隨著分析技術(shù)的使用越來越常規(guī)化,，Apreo 倉室經(jīng)過全新設(shè)計,，以便更好地支持不同的配件和實驗。倉室*多容納三個 EDS/WDS 端口,，可實現(xiàn)快速敏感的 X 射線測量,、共面EDS/EBSD/TKD 排列并與（冷凍）CL、拉曼,、EBIC 和其他技術(shù)兼容。

所有這些功能都能通過簡單的樣品處理和熟悉的 xT UI 獲得,，節(jié)省了新用戶和專家級用戶的時間,。可自定義的用戶界面提供了諸多用戶指導(dǎo),、自動化和遠程操作選項,。