線性壓電納米位移臺MF40-25A，緊湊結(jié)構(gòu)支撐下的超大行程,，軟件簡單易用,，亞納米級別開環(huán)分變率，真空兼容可達(dá)10^-5Pa,。支持定制納米位移臺,。

不同于傳統(tǒng)的微米級別行程，納米位移臺擁有超大運動行程,。大運動行程可以替代傳統(tǒng)的大范圍運動加不范圍補償?shù)倪\動方案,，從而使設(shè)計 結(jié)構(gòu)更加緊湊，運動控制更加簡單,。




納米位移臺配套操作簡單,，隨時調(diào)整XY軸觀測位置,，電子屏顯示，實時反饋數(shù)據(jù),，數(shù)據(jù)定位準(zhǔn)確,，且?guī)в懈呔燃案叻肿兟实奈恢梅答仭?/span>

產(chǎn)品優(yōu)勢

• 結(jié)構(gòu)緊湊，高剛性

• 零間隙,，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

• 室溫到液氦工作溫度,，真空兼容

• 壓電陶瓷促進(jìn)器具有超長使用壽命

• 帶位移傳感器，提供位置和速度閉環(huán)控制

產(chǎn)品應(yīng)用

電子顯微鏡原位納米探針臺,，半導(dǎo)體芯片檢測,，光刻機工件臺，微生物操縱手,，光纖焊接