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國產(chǎn)全自動臺階儀 JS3000B,，擁有高精度,、高分解能力,，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測量,。JS2000B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像,，可無畸變的觀察樣品區(qū)，方便定位特征區(qū)域,，同時探針掃描時可實(shí)時觀察掃描區(qū)域。 

特點(diǎn)

量測精確,、功能豐富,、一體式集成、模塊化設(shè)計(jì),、售后便捷,、極高性價(jià)比

應(yīng)用范圍

▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度,、翹曲度等材料表面參數(shù)測量

▲ 各式薄膜等應(yīng)力測量

▲ 3D掃描成像

▲ 計(jì)劃任務(wù)和多點(diǎn)掃描

▲ 批量測試晶圓,，批量處理數(shù)據(jù)等

系統(tǒng)組成

▲ EFEM（LP+ROBOT+ALINGER)

▲ JS300B

選配品

▲ 高度校準(zhǔn)標(biāo)樣

▲ FFU模塊

▲ 靜電消除模塊

▲ E84接口

技術(shù)參數(shù)

軟件界面

掃描圖

18nm樣品

68um樣品