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ZP3-4微納探針臺(tái)可在納米尺度上對(duì)樣品和測(cè)試設(shè)備進(jìn)行電學(xué)表征,。

產(chǎn)品參數(shù)

探針數(shù)量：4個(gè)探頭,，每個(gè)探頭配備一個(gè)三軸探針臂;自由度：每個(gè)探頭獨(dú)立驅(qū)動(dòng)（X,、Y,、Z三自由度）;

運(yùn)動(dòng)：壓電驅(qū)動(dòng),；

步進(jìn)速度：2 mm/s（X,，Y,，Z）；

運(yùn)動(dòng)范圍：20x20mm（X,，Y）,，10mm（Z）；

運(yùn)動(dòng)分辨率：1 nm （X,、Y）,，10nm （Z）；

探針規(guī)格：針柄直徑為0.51mm（0.020’’）;

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

快速,、準(zhǔn)確,、穩(wěn)定

ZP3-4微納探針臺(tái)包含4個(gè)壓電三軸探針臂，每個(gè)三軸配備1個(gè)可拆卸式電學(xué)探針接口,，可在毫米級(jí)尺度上進(jìn)行宏觀運(yùn)動(dòng)并實(shí)現(xiàn)納米尺度上的微觀運(yùn)動(dòng),。

使用場(chǎng)景多樣化

ZP3-4微納探針臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小,，運(yùn)動(dòng)行程大,，可匹配各種顯微鏡樣品臺(tái),，真空室，光學(xué)試驗(yàn)臺(tái)等工作條件,。

完善的技術(shù)解決方案

Z P 3 - 4 微 納 探 針 臺(tái) 與 尼 康 金 相 顯 微 鏡 / SR-Scopel集成形成的探針臺(tái)電學(xué)測(cè)量系統(tǒng),，為宏觀行程上進(jìn)行的微觀尺度電學(xué)及表征測(cè)量提供了具體的解決方案。

直觀,、方便

ZP3-4微納探針臺(tái)通過手柄控制,，具有多級(jí)宏觀調(diào)速，脈沖運(yùn)動(dòng),，以及位移微調(diào)功能,，宏觀運(yùn)動(dòng)速度跨度在5um/s~2mm/s，單點(diǎn)脈沖步進(jìn)可達(dá)300nm以下,，微調(diào)運(yùn)動(dòng)分辨率小于1nm,，在顯微鏡下操作更直觀，方便,，準(zhǔn)確,。

高度集成

ZP3-4微納探針臺(tái)電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，配備完善的光學(xué)顯微鏡模塊,，配備亮度調(diào)節(jié),，增益和變焦等功能，與電腦連接后,，可實(shí)現(xiàn)圖像快照,，尺寸測(cè)量和標(biāo)注，視頻記錄等常規(guī)功能,。