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長行程壓電納米位移臺XYMF-133-100A,具有分辨率高，行程大,，帶有高精度及高分辨率的位置反饋,，操作簡單,，定位準(zhǔn),，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，XYMF-133-100A平移臺可實(shí)現(xiàn)在XY二維空間上的準(zhǔn)定位,，可應(yīng)用于需要納米精度運(yùn)動操作及定位的各個領(lǐng)域,。
該產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動，運(yùn)動無需潤滑,，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作,。運(yùn)動分辨率達(dá)到納米級。能夠步進(jìn)和掃描雙模式工作,，在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位,。支持開環(huán)/閉環(huán)控制。
1,、電子顯微鏡原位納米探針臺
2,、半導(dǎo)體芯片檢測
3、光刻機(jī)工件臺
4,、微生物操縱手
5,、光纖焊接
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