壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái),，使用壓電陶瓷作為運(yùn)動(dòng)促動(dòng)元件,，可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)別的步長(zhǎng),，從而解決了傳統(tǒng)納米臺(tái)行程小而微米電動(dòng)臺(tái)分辯精度不高的問(wèn)題。在科研市場(chǎng),、半導(dǎo)體市場(chǎng),、先進(jìn)制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè),、光學(xué),、通信等行業(yè)有廣泛應(yīng)用。

自主研發(fā)的壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái),，具有運(yùn)動(dòng)無(wú)需潤(rùn)滑,，真空兼容，可在從液氦溫區(qū)（-269攝氏度）至室溫的寬溫區(qū)內(nèi)工作等優(yōu)點(diǎn),。具有步進(jìn)和掃描雙工作模式,，在宏觀(guān)行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。

線(xiàn)性壓電納米位移臺(tái)ML-15A大行程直線(xiàn)位移臺(tái),，不僅擁有緊湊的安裝尺寸,，同時(shí)還兼具低溫真空等應(yīng)用環(huán)境。支持定制納米位移臺(tái),。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

• 結(jié)構(gòu)緊湊,，高剛性

• 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

• 室溫到液氦工作溫度,，真空兼容

• 壓電陶瓷促進(jìn)器具有超長(zhǎng)使用壽命

• 帶位移傳感器,，提供位置和速度閉環(huán)控制

產(chǎn)品應(yīng)用

電子顯微鏡原位納米探針臺(tái)，半導(dǎo)體芯片檢測(cè),，光刻機(jī)工件臺(tái),，微生物操縱手，光纖焊接