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干式液氦溫區(qū)探針臺(tái)產(chǎn)品特點(diǎn)

1,、真空腔體：真空度優(yōu)于6×10-4 Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5 Pa,。留有2個(gè)用戶法蘭接口（KF40可接入氣體或者額外的電纜）；

2,、探針控制：標(biāo)配6個(gè)探針臂,。調(diào)節(jié)范圍110mm*50mm*30mm,，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于10um,。每個(gè)探針臂配一根Triax三同軸低漏電線纜及探針,。樣品臺(tái)底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜；

3,、顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡，光學(xué)放大倍率：0.5X~3. 75X（使用0. 75X附加物鏡時(shí)）,，視頻放大倍率約700倍,。可選2X附加物鏡,。分辨率優(yōu)于2um,。全高清數(shù)字?jǐn)z像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機(jī)械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦,；

4,、變溫樣品臺(tái)：直徑標(biāo)配50mm，可選配150mm,。變溫范圍：6K~400K,?？販胤€(wěn)定性優(yōu)于±0.01 K;

5,、可選配接入光纖,，可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖；

6、系統(tǒng)直流漏電低于1pA;

7,、產(chǎn)品含進(jìn)口分子泵機(jī)組,、全量程真空規(guī)和智能溫控儀。