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E3200 GaN缺陷檢測設(shè)備品牌
昂坤視覺產(chǎn)地
北京樣本
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E3200是針對GaN 功率器件和HB GaN LED應(yīng)用,,可以檢測GaN襯底及PSS基GaN、Si基GaN 和SiC基GaN 等外延片的表面和熒光缺陷,,*小檢測顆粒81nm,。可以檢測并區(qū)分顆粒(particle),、凹坑(pit),、凸起(bump),、劃傷(scratch)、污點(stain),、裂紋(crack),、PL 黑點、PL scratch,、PL crystal 缺陷等表面及熒光缺陷,。支持4@、6@,、8@晶圓檢測,,具有高產(chǎn)能、檢測準(zhǔn)確和檢出率高的優(yōu)點,。
暫無數(shù)據(jù),!