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E3500 SiC 缺陷檢測設(shè)備
E3500 SiC 缺陷檢測設(shè)備

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型號

E3500 SiC 缺陷檢測設(shè)備

品牌

昂坤視覺

產(chǎn)地

北京

樣本

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昂坤視覺（北京）科技有限公司

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E3500是針對SiC材料的缺陷檢測設(shè)備，可以檢測SiC襯底,、同質(zhì)外延等的表面和熒光缺陷,。可以檢測并區(qū)分三角,、carrot,、downfall、micropipe,、SF,、BPD等缺陷,。支持4@、6@,、8@晶圓檢測,，具有高產(chǎn)能、高檢測精度的優(yōu)點,。

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