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適應晶圓尺寸 Wafer Size

l Size: 4", 6" compatible

檢測缺陷類別 Defect types

l 常規(guī)檢測:微觀亮/暗缺陷,、宏觀亮/暗缺陷,、刮傷(Scratch)、defocus,、甩膠(SpinPR 及 Comet),、格線(Shotline)、 脫膠(Degumming)

l 帶有深度學習系統(tǒng)與神經(jīng)網(wǎng)絡算法,，可以對缺陷類別進行精 準分類

l 支持用戶定義或協(xié)商定制缺陷類別,，但增加缺陷類別可能會 影響產(chǎn)能

PSS缺陷檢測設備采用自研光學鏡頭、高性能工業(yè)相機和高精度STAGE平臺,，具備業(yè)界**的檢測性能,，用于4@@、6@@ PR片,、PSS片和藍寶石拋光片的缺陷檢測,，具有鐳刻碼識別、缺陷檢測及分類,、反射率測量及分類,、缺陷riview、晶圓分檔和光刻膠厚度測量等功能。