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E1000 化合物半導(dǎo)體缺陷檢測設(shè)備品牌
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E1000 化合物半導(dǎo)體缺陷檢測設(shè)備
Eagle1000 化合物半導(dǎo)體缺陷檢測設(shè)備可以檢測藍(lán)寶石,，砷化鎵,，鉭酸鋰，石英玻璃,，磷化銦等襯底及外延片,。可以檢測并區(qū)分顆粒（particle）,、凹坑（pit）,、凸起（bump）、劃傷（scratch）,、污點(diǎn)（stain）、裂紋（crack）等缺陷,，*小可檢測缺陷81nm,；支持4@,、6@、8@晶圓檢測,，具有高產(chǎn)能,、檢測準(zhǔn)確和檢出率高的優(yōu)點(diǎn)。
適應(yīng)晶圓尺寸Wafer Size
l Size: 4", 6", 8" compatible; 標(biāo)配4 cassettes; other size upon request
l Thickness: 350um~1500um（其它厚度需要測試）
暫無數(shù)據(jù),！
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