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COW/COT AOI芯片缺陷檢測(cè)設(shè)備品牌
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檢測(cè)缺陷類別Defect types
l 缺陷尺寸：0.5um or above
l 常規(guī)檢測(cè)：電極異常,、外延層脫落、切割道異常、發(fā)光區(qū)異常,、殘金,、雙晶、外延異常
l 深度學(xué)習(xí)系統(tǒng)與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法,，可以對(duì)缺陷類別進(jìn)行精準(zhǔn)分類
l 支持用戶定義或協(xié)商定制缺陷類別,，但增加缺陷類別可能會(huì)影響產(chǎn)能
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