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鋁腐蝕清洗機(jī)品牌
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1、機(jī)臺(tái)采用進(jìn)口勞士領(lǐng)板材,,長期可工作在酸腐蝕環(huán)境,,堅(jiān)固耐用,雙層防漏 ,。
2,、采用 HF+HNO3/H3P04+HNO3等工藝對(duì)硅片表面腐蝕清洗的工藝設(shè)備,可清洗4“,,5”,,6“硅片。
3,、可設(shè)計(jì)手動(dòng)全自動(dòng)運(yùn)行設(shè)計(jì),全自動(dòng)運(yùn)行方式采用兩只獨(dú)立機(jī)械臂運(yùn)行,,可上下提動(dòng),。
4、清洗能力:4~6寸圓片,,25片2籃/批
5,、各工藝槽溫度可控,獨(dú)立控制,。
6,、各工藝槽模組化設(shè)計(jì),腐蝕槽,、純水沖洗槽放置在一個(gè)統(tǒng)一的承漏底盤中,。腐蝕槽設(shè)計(jì)底部排風(fēng),降低排風(fēng)量,。
7,、工藝槽可設(shè)計(jì)提動(dòng)動(dòng)作,,清洗更快更徹底。
8,、控制部分采用進(jìn)口品牌PLC 和HM ,;
9、機(jī)臺(tái)前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮?dú)鈽尭?只置于右側(cè),。
1,、機(jī)臺(tái)采用進(jìn)口勞士領(lǐng)板材,長期可工作在酸腐蝕環(huán)境,,堅(jiān)固耐用,,雙層防漏 。
2,、采用 HF+HNO3/H3P04+HNO3等工藝對(duì)硅片表面腐蝕清洗的工藝設(shè)備,,可清洗4“,5”,,6“硅片,。
3、可設(shè)計(jì)手動(dòng)全自動(dòng)運(yùn)行設(shè)計(jì),,全自動(dòng)運(yùn)行方式采用兩只獨(dú)立機(jī)械臂運(yùn)行,,可上下提動(dòng)。
4,、清洗能力:4~6寸圓片,,25片2籃/批
5、各工藝槽溫度可控,,獨(dú)立控制,。
6、各工藝槽模組化設(shè)計(jì),,腐蝕槽,、純水沖洗槽放置在一個(gè)統(tǒng)一的承漏底盤中。腐蝕槽設(shè)計(jì)底部排風(fēng),,降低排風(fēng)量,。
7、工藝槽可設(shè)計(jì)提動(dòng)動(dòng)作,,清洗更快更徹底,。
8、控制部分采用進(jìn)口品牌PLC 和HM ,;
9,、機(jī)臺(tái)前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮?dú)鈽尭?只置于右側(cè)。
10,、設(shè)備設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)按半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(SEMI-S2-93)執(zhí)行,,ISO9001質(zhì)量管理體系進(jìn)行規(guī)范和保證,。
暫無數(shù)據(jù)!