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1,、機臺采用進口勞士領(lǐng)板材,，長期可工作在酸腐蝕環(huán)境，堅固耐用,，雙層防漏 ,。

2、采用 HF+HNO3/H3P04+HNO3等工藝對硅片表面腐蝕清洗的工藝設(shè)備,，可清洗4“,，5”，6“硅片,。

3,、可設(shè)計手動全自動運行設(shè)計，全自動運行方式采用兩只獨立機械臂運行,，可上下提動,。

4、清洗能力：4~6寸圓片,，25片2籃/批

5,、各工藝槽溫度可控，獨立控制,。

6,、各工藝槽模組化設(shè)計，腐蝕槽,、純水沖洗槽放置在一個統(tǒng)一的承漏底盤中。腐蝕槽設(shè)計底部排風(fēng),，降低排風(fēng)量,。

7、工藝槽可設(shè)計提動動作,，清洗更快更徹底,。

8、控制部分采用進口品牌PLC 和HM ,；

9,、機臺前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮氣槍各1只置于右側(cè)。

1,、機臺采用進口勞士領(lǐng)板材,，長期可工作在酸腐蝕環(huán)境，堅固耐用，雙層防漏 ,。

2,、采用 HF+HNO3/H3P04+HNO3等工藝對硅片表面腐蝕清洗的工藝設(shè)備，可清洗4“,，5”,，6“硅片。

3,、可設(shè)計手動全自動運行設(shè)計,，全自動運行方式采用兩只獨立機械臂運行，可上下提動,。

4,、清洗能力：4~6寸圓片，25片2籃/批

5,、各工藝槽溫度可控,，獨立控制。

6,、各工藝槽模組化設(shè)計,，腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個統(tǒng)一的承漏底盤中,。腐蝕槽設(shè)計底部排風(fēng),，降低排風(fēng)量。

7,、工藝槽可設(shè)計提動動作,，清洗更快更徹底。

8,、控制部分采用進口品牌PLC 和HM ,；

9、機臺前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮氣槍各1只置于右側(cè),。

10,、設(shè)備設(shè)計標準按半導(dǎo)體行業(yè)標準（SEMI-S2-93）執(zhí)行，ISO9001質(zhì)量管理體系進行規(guī)范和保證,。