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1、機(jī)臺(tái)采用進(jìn)口勞士領(lǐng)板材,，長期可工作在酸腐蝕環(huán)境,，堅(jiān)固耐用，雙層防漏 ,。

2,、采用 HF+HNO3/H3P04+HNO3等工藝對(duì)硅片表面腐蝕清洗的工藝設(shè)備，可清洗4“,，5”,，6“硅片。

3,、可設(shè)計(jì)手動(dòng)全自動(dòng)運(yùn)行設(shè)計(jì)，全自動(dòng)運(yùn)行方式采用兩只獨(dú)立機(jī)械臂運(yùn)行,，可上下提動(dòng),。

4、清洗能力：4~6寸圓片,，25片2籃/批

5,、各工藝槽溫度可控，獨(dú)立控制,。

6,、各工藝槽模組化設(shè)計(jì)，腐蝕槽,、純水沖洗槽放置在一個(gè)統(tǒng)一的承漏底盤中,。腐蝕槽設(shè)計(jì)底部排風(fēng)，降低排風(fēng)量,。

7,、工藝槽可設(shè)計(jì)提動(dòng)動(dòng)作,，清洗更快更徹底。

8,、控制部分采用進(jìn)口品牌PLC 和HM ,；

9、機(jī)臺(tái)前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮?dú)鈽尭?只置于右側(cè),。

1,、機(jī)臺(tái)采用進(jìn)口勞士領(lǐng)板材，長期可工作在酸腐蝕環(huán)境,，堅(jiān)固耐用,，雙層防漏 。

2,、采用 HF+HNO3/H3P04+HNO3等工藝對(duì)硅片表面腐蝕清洗的工藝設(shè)備,，可清洗4“，5”,，6“硅片,。

3、可設(shè)計(jì)手動(dòng)全自動(dòng)運(yùn)行設(shè)計(jì),，全自動(dòng)運(yùn)行方式采用兩只獨(dú)立機(jī)械臂運(yùn)行,，可上下提動(dòng)。

4,、清洗能力：4~6寸圓片,，25片2籃/批

5、各工藝槽溫度可控,，獨(dú)立控制,。

6、各工藝槽模組化設(shè)計(jì),，腐蝕槽,、純水沖洗槽放置在一個(gè)統(tǒng)一的承漏底盤中。腐蝕槽設(shè)計(jì)底部排風(fēng),，降低排風(fēng)量,。

7、工藝槽可設(shè)計(jì)提動(dòng)動(dòng)作,，清洗更快更徹底,。

8、控制部分采用進(jìn)口品牌PLC 和HM ,；

9,、機(jī)臺(tái)前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮?dú)鈽尭?只置于右側(cè)。

10,、設(shè)備設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)按半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（SEMI-S2-93）執(zhí)行,，ISO9001質(zhì)量管理體系進(jìn)行規(guī)范和保證,。