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1,、機臺采用進口勞士領板材，長期可工作在酸腐蝕環(huán)境,，堅固耐用,，雙層防漏 。

2,、滾筒內清洗,，用于SIO2原料的清洗工藝。

3,、可設計手動全自動運行設計,，全自動運行方式采用兩只機械手運行，更有效提高效率降低成本,。

4、清洗能力：10-20kg/批

5,、全方面的警報提示功能,，防呆設計功能。

6,、模組化設計,，腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個統(tǒng)一的承漏底盤中,，底盤 采用滿焊接工藝加工而成,，杜絕機臺的滲漏危險。

7,、后部排風和下沉式設計,，排風區(qū)酸堿隔離，風量可調節(jié),，對操作員有安全 保護,。

8、控制部分采用進口品牌PLC 和HMI.

9,、設備槽位區(qū)配備 PTFE 材質 2 只純水槍和 2 只氮氣槍,，方便操作員手工清 洗槽體或工件,。

10、設備設計標準按半導體行業(yè)標準（SEMI-S2）執(zhí)行,，ISO9001質量管理體系進行規(guī)范和保證。