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1、機(jī)臺(tái)采用進(jìn)口勞士領(lǐng)板材,，長期可工作在酸腐蝕環(huán)境,，堅(jiān)固耐用，雙層防漏 ,。

2,、滾筒內(nèi)清洗，用于SIO2原料的清洗工藝,。

3,、可設(shè)計(jì)手動(dòng)全自動(dòng)運(yùn)行設(shè)計(jì)，全自動(dòng)運(yùn)行方式采用兩只機(jī)械手運(yùn)行,，更有效提高效率降低成本,。

4、清洗能力：10-20kg/批

5,、全方面的警報(bào)提示功能,，防呆設(shè)計(jì)功能。

6,、模組化設(shè)計(jì),，腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個(gè)統(tǒng)一的承漏底盤中,，底盤 采用滿焊接工藝加工而成,，杜絕機(jī)臺(tái)的滲漏危險(xiǎn)。

7,、后部排風(fēng)和下沉式設(shè)計(jì),，排風(fēng)區(qū)酸堿隔離,，風(fēng)量可調(diào)節(jié)，對(duì)操作員有安全 保護(hù),。

8,、控制部分采用進(jìn)口品牌PLC 和HMI.

9、設(shè)備槽位區(qū)配備 PTFE 材質(zhì) 2 只純水槍和 2 只氮?dú)鈽?，方便操作員手工清 洗槽體或工件,。

10、設(shè)備設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)按半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（SEMI-S2）執(zhí)行,，ISO9001質(zhì)量管理體系進(jìn)行規(guī)范和保證,。