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1,、適用于 6-8”硅片的去邊處理,；

2、兩套機(jī)械吸盤自動(dòng)上下料,，由機(jī)器人把硅片從上料端搬運(yùn)到下吸盤,，自動(dòng)對(duì)位；

3,、真空吸盤吸附的方式進(jìn)行硅片的搬運(yùn),；

4、下料位有獨(dú)立的下料槽,，沖水下料,，自動(dòng)進(jìn)到片夾,；

5、設(shè)計(jì)純水再利用,；

6,、去邊精度0.6mm；

7,、 控制部分采用進(jìn)口品牌PLC 和HMI,，所有可能與酸霧接觸的電氣及線路均經(jīng)PFA防腐隔絕處理，電氣柜CDA/N2充氣保護(hù)其中的電器控制元件,；

8,、機(jī)臺(tái)前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮?dú)鈽尭?只置于右側(cè)。

9,、設(shè)備設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)按半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（SEMI-S2-93）執(zhí)行,，ISO9001質(zhì)量管理體系進(jìn)行規(guī)范和保證。