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UP-510 碟形腔式MPCVD設(shè)備品牌
優(yōu)普萊產(chǎn)地
廣東樣本
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UP-510系列碟形腔式MPCVD設(shè)備設(shè)計(jì)先進(jìn)，性能可靠,。硬件配置穩(wěn)定可靠,，軟件系統(tǒng)集成度高，易于操作,。沉積面積**可達(dá)3英寸,，生產(chǎn)效率高，適合于生長(zhǎng)大面積金剛石薄膜,，也可用于單晶多晶金剛石的大批量生產(chǎn),。
| 1.大功率微波系統(tǒng) | |
| 微波頻率 | 2450±25MHz |
| 輸出功率 | 0.6kw~10kw 連續(xù)可調(diào) |
| 微波泄漏 | 離設(shè)備 5cm 處,，微波泄漏≤ 2 mw/cm2 |
| 2.真空系統(tǒng) | |
| 工作氣壓范圍 | 10~300Torr |
| 自動(dòng)穩(wěn)壓范圍 | 40~250Torr |
| 真空泵 | 4.4L/s 旋片式真空泵 |
| 系統(tǒng)漏率 | <1x10-9 Pa*m3 /s (通過(guò)氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)) |
| 腔體保壓能力 | 每 24 小時(shí)壓升小于 0.5 Torr |
| 本底極限真空 | 1Pa |
| 3.真空反應(yīng)腔及基片臺(tái) | |
| 反應(yīng)腔材料及結(jié)構(gòu) | 碟形不銹鋼反應(yīng)腔 |
| 觀察窗口 | 四個(gè) CF 端口， 90°分布,。 |
| 測(cè)溫窗口 | 四個(gè) CF 端口,， 90°分布。 |
| 自動(dòng)控制上蓋開(kāi)關(guān) | |
| 鉬基片臺(tái)直徑 | **150mm,，建議直徑范圍 60mm ~75mm |
| 樣品臺(tái)可上下移動(dòng) | |
| 4.氣路 | |
| 系統(tǒng)自帶四路 MFC | |
| 選用日本進(jìn)口流量計(jì)及流量控制閥 | |
| 5.測(cè)溫系統(tǒng) | |
| 選用德國(guó)品牌紅外測(cè)溫,，范圍：300~1300 攝氏度 | |
| 6.軟件 | |
| 配置 PLC 控制的 15“觸摸顯示屏，用戶(hù)操作界面友好,，所有操作均可在觸摸屏上完成 | |
| 自帶缺水,，缺氣，電源缺相,，火球跳變,，過(guò)溫過(guò)載，打火等自動(dòng)保護(hù) | |
| 生產(chǎn)流程通過(guò)工藝配方自動(dòng)控制,可設(shè)置多達(dá)十套工藝配方 | |
| 系統(tǒng)自帶全自動(dòng)抽氣,，點(diǎn)火,，升溫，降溫等預(yù)設(shè)流程,，用戶(hù)操作簡(jiǎn)便 | |
| 全自動(dòng)溫度控制,，氣壓控制，極大減輕系統(tǒng)操作員的工作量 | |
暫無(wú)數(shù)據(jù),！
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