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技術(shù)參數(shù)：

* 輸出波長：157nm， 193nm,， 222nm,， 248nm， 308nm,， 351nm.

* 單脈沖能量：0.3-360mJ,。

* **重復(fù)頻率：60-300Hz.

* 脈沖寬度： 2.5-27ns

* 每次充氣后，氣體的工作壽命： **可達107 此性能指標和所用工作氣體有關(guān),。

* 閘流管質(zhì)保期限： 2年或3x108次工作脈沖,。

主要特點：

* 特點：金屬陶瓷腔結(jié)構(gòu)，采用“柔和”的電暈預(yù)電離技術(shù),，更有效的腔內(nèi)微顆粒過濾器,。 采用長壽命閘流管，工作更穩(wěn)定可靠,。具有優(yōu)異的光斑均勻性和脈沖工作穩(wěn)定性,。低消耗 KrCl 222nm 輸出。

* 應(yīng)用：光纖布拉格光柵制作,，激光電離質(zhì)譜,，激光感生熒光光譜，光化學(xué),，光剝蝕和微加工,，表面分析，半導(dǎo)體工業(yè),，時間遲豫研究,，非線性光學(xué)，染料激光泵浦,，脈沖激光沉積,，近視眼治療等光譜學(xué)，材料科學(xué)和醫(yī)學(xué)應(yīng)用,。