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100-150萬元型號
BF220-17NH品牌
智熱裝備產(chǎn)地
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靜電卡盤又稱靜電吸盤（ESC），是半導(dǎo)體設(shè)備中價值比較高的部件之一,；用于半導(dǎo)體工藝中的硅片夾持,，利用靜電吸附原理來固定硅片。近年來,，隨著國家加大半導(dǎo)體領(lǐng)域的投入,，我國半導(dǎo)體設(shè)備采購額逐年增加，推動了包括靜電吸盤（ESC）在內(nèi)的核心部件的采購量增長,。此外,，隨著中國大陸晶圓產(chǎn)能的建設(shè)和擴(kuò)產(chǎn)，中國成為全球晶圓產(chǎn)能增長的重心,，帶動國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的需求增長,，為國產(chǎn)靜電吸盤（ESC）的發(fā)展提供了良好的機(jī)遇。
陶瓷靜電卡盤由含有置入其內(nèi)的至少一個電極層的陶瓷圓盤構(gòu)成,，通常使用多層陶瓷共燒工藝進(jìn)行制備，采用絲網(wǎng)印刷導(dǎo)電漿料（鎢,、鉬）在一個或多個陶瓷生坯片（氧化鋁或氮化鋁材質(zhì)）上形成電極,。將印刷好的生坯片按照要求進(jìn)行疊層共燒后，經(jīng)過精加工得到陶瓷圓盤,。
為解決燒結(jié)設(shè)備依賴進(jìn)口的問題,，我司通過多年積攢的高溫氣氛燒結(jié)設(shè)備制造經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合國外設(shè)備的優(yōu)點(diǎn),，研發(fā)制造出“BF220-17NH高溫氣氛鐘罩爐”設(shè)備,，專門用于靜電卡盤的高溫共燒工藝，有效尺寸達(dá)Φ750×H500,。
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近期，中國粉體網(wǎng)開啟第九屆“粉體行業(yè)獎項(xiàng)年度評選”活動,?！胺垠w行業(yè)獎項(xiàng)年度評選”是由中國粉體網(wǎng)聯(lián)合北京粉體技術(shù)協(xié)會于2013年共同發(fā)起，是粉體行業(yè)最具權(quán)威性的獎項(xiàng)之一,。為了助推行業(yè)邁向更高臺階,，202
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