美國產Plasma Cleaning System

小型實驗室等離子表面處理機

等離子表面處理機是一種非破壞性的表面處理設備，它是利用能量轉換技術,，在一定真空負壓的狀態(tài)下,，以電能將氣體轉化為活性極高的氣體等離子體,，氣體等離子體能輕柔沖刷固體樣品表面，引起分子結構的改變,，從而達到對樣品表面有機污染物進行超清洗,，在極短時間內有機污染物就被外接真空泵徹底抽走，其清洗能力可以達到分子級,。在一定條件下還能使樣品表面特性發(fā)生改變,。因采用氣體作為清洗處理的介質，所以能有效避免樣品的再次污染,。等離子清洗器既能加強樣品的粘附性,、相容性和浸潤性，也能對樣品進行消毒和殺菌,。等離子清洗器現(xiàn)已廣泛應用于光學,、光電子學、電子學,、材料科學,、高分子、生物醫(yī)學,、微觀流體學等領域,。小型等離子清洗機以體積小、成本低,、操作簡便等特點廣泛應用于科研及小批量生產場合,。

PE-50參數(shù)：

外部尺寸： W356mm x H540mm x D495mm 重量：24kg

耐用的焊接6061 T6鋁合金真空腔；

真空腔尺寸：W140mm x H89mm x D179mm

等離子發(fā)生器：功率 max.150w（可調）頻率：50kHz

供氣：氣體流量控制器 0-25cc/min w/精密針形閥,。

壓力測量：熱電偶真空計 0-1Torr.

電源：115VAC,，15A 功率：400W 供氣：6mm連接件

控制器：PLC微電腦控制系統(tǒng)。鍵盤用戶界面,，數(shù)字字母顯示器,。方案工藝可以進行自動處理。

附件（可選件）

抽氣裝置：推薦型號：5 CFM 2級 直驅真空油泵

氧氣發(fā)生器

附加第二氣體通道,。附加第二氣體控制器,，0-25cc/min

100w， 13.56Mhz可自動調節(jié)射頻發(fā)生器

升級裝置：

PC /筆記本電腦的控制系統(tǒng)：裝載有等離子蝕刻軟件的一臺筆記本電腦是包括全自動系統(tǒng)操作,，

流程排序,，多配方存儲，以及其他高級功能,。

質量流量控制器：附加質量流量控制器也可提供,。

功能：

對金屬、玻璃,、硅片,、陶瓷、塑料,、聚合物表面的有機污染物 （如石蠟,、油污、脫膜劑,、蛋白等）進行超A A清洗,。

改變某些材料表面的性能。

使玻璃,、塑料,、陶瓷等材料表面活化，加強這些材料的粘附性,、相容性和浸潤性,。

清除金屬材料表面的氧化層。

對被清洗物進行消毒,、殺菌,。

From the beginning， our developments have been driven by the needs of our customers."

Richard DeLarge: Founder,，

PE成立于1980年,，致力于提供電子行業(yè)用的等離子設備及相關服務。通過幾十年的發(fā)展,，公司發(fā)展成為提供等離子設備方面的專家,，可為客戶提供專業(yè)的產品和解決方案，先后為眾多知名企業(yè)提供等離子處理設備,，如美國宇航局NASA,， 美國波音Boeing，**的電子保安系統(tǒng)產品制造商美國霍尼韋爾Honeywell,，美國摩托羅拉Moto,， 德國拜耳Bayer，世界軍用飛機的領軍企業(yè)美國洛克希德馬丁Lockheed-Martin等等,。

PE擁有多項***,，在開發(fā)和制造等離子設備方面有許多突破性創(chuàng)新，擁有等離子體技術和制造技術領域里尖端的技術,。這些**技術的產品線是公司獨有的,，生產的等離子設備是業(yè)界公認的集清洗速度、完整均勻性,、安全可靠性為一體的等離子處理設備,。

專業(yè)溫控技術

在等離子體處理過程中，溫度是確保均勻性,、有效性的一個重要參數(shù),。Plasma Etch生產的等離子設備具有可直接調節(jié)電極溫度的**技術,。通過電腦程序的自動控制可保證整個等離子處理過程中溫度的穩(wěn)定性。這種技術是成熟且高度可靠的,，并可由操作者操作控制,。

操作者可在系統(tǒng)控制范圍內設置任何溫度并自動保持該溫度，可在溫度范圍內設置成**溫度來處理任何材料和基底,，從而可以以*快的速度處理樣品,。無需預熱或者預啟動等離子設備就可以間歇的處理樣品或者不斷的重復處理過程。

**靜電屏蔽技術

我們與許多行業(yè)進行合作并進行大量的研究,，許多公司采用我們具有**技術和特點的真空腔,，真空腔采用航空級鋁合金材料，具有非常好的耐用性,。研究表明,，采用鋁合金作為腔體可以微調每個等離子處理過程直到**的均勻性。等離子處理過程控制不恰當?shù)脑挄е聦悠返膿p壞,，均勻性欠佳導致某些地方燒焦,、彎曲或者損壞樣品，對此我們改進了設計,。采用我們的**靜電屏蔽技術就可以使得等離子體高效且均勻在電極表面穿流而過,，這一技術大大降低了等離子處理過程中對樣品的損傷。該電磁屏蔽技術是Plasma Etch獨有的**技術,。

系統(tǒng)控制軟件

PE生產的等離子設備和控制軟件的接口都是獨特的,，軟件可以監(jiān)控和自動控制處理進程，如下：

1.創(chuàng)建等離子處理工藝流程

2.監(jiān)控和記錄處理數(shù)據(jù)

3.設置數(shù)據(jù)警報點

4.存儲過程數(shù)據(jù)

5.實時自動監(jiān)測處理工藝

6.創(chuàng)建特定樣品的處理工藝流程

7.制定連續(xù)的處理任務

通過使用該控制軟件,，可以精確的控制等離子處理過程的每一個環(huán)節(jié),，并能夠從程序中刪除失誤操作。

更快地刻蝕速度

PE的等離子設備刻蝕速度是其他等離子設備的3倍以上,。獨特的設計和**技術,，如溫控技術和靜電屏蔽的結合使我們能夠在等離子體處理上提供****的質量與速度。

應用領域

目前設備廣泛應用于：等離子清洗,、刻蝕,、灰化、涂鍍和表面處理,，在真空電子,、LED、太陽能光伏,、集成電路,、生命科學、半導體科研、半導體封裝,、芯片制造,、MEMS器件等領域有廣泛應用。

公司發(fā)展歷程

1980年初– 公司成立并生產首臺等離子系統(tǒng),；1980年底- 為線路板企業(yè)提供等離子處理設備,；1987年- 發(fā)明TRUE等離子控溫**技術，獨立控制并能保持整個等離子處理過程中溫度的穩(wěn)定性,；1988年– 公司擴大搬遷至California， USA,；1989年– 生產首臺電腦控制等離子處理設備,；.1992年– ***電磁屏蔽技術；.1994年– 生產PE-1000聯(lián)機等離子處理設備,；1996年– 生產自動機器人裝卸系統(tǒng),；

1996年– 公司擴大搬遷至Nevada， USA.1997年– 生產MK-III等離子盲鉆系統(tǒng),；1998年– 生產TT-1 旋轉式等離子處理系統(tǒng),；

2000年- 生產PE-2000R卷輪式/滾動式等離子處理系統(tǒng)；2003年– 改進BT-1刻蝕機,；2004年– 增加PE-200和BT-1基于windows的控制軟件和觸屏功能2005年– 生產臺式PE-100,；2010年–生產臺式PE-50；2012年– 研制不需要CF4操作的麥格納系列