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優(yōu)點(diǎn)

NTT-AT公司已提供了20 多年高質(zhì)量XUV、EUV和X射線反射鏡,。尤其是利用本公司的豐富經(jīng)驗(yàn)和出色技能,，提供可定制設(shè)計(jì)的多層膜反射鏡，滿足各用戶的需求,。

1990年,，NTT-AT公司開發(fā)了極紫外（XUV或EUV）多層反射鏡和X射線反射鏡并開始銷售。并將亞洲,、北美洲,、南美洲和歐洲的大學(xué)、研究所和企業(yè)反饋的意見反映到這些反射鏡的設(shè)計(jì)中,。本公司將利用廣泛積累的經(jīng)驗(yàn)和可靠的技術(shù)支持用戶的多層反射鏡生產(chǎn),。

特點(diǎn)

因?yàn)镹TT-AT公司的多層反射鏡質(zhì)量高，所以一直被世界上的研究機(jī)構(gòu)所選用,。本公司定制多層材料和結(jié)構(gòu),，滿足用戶的基板、峰值波長(zhǎng),、帶寬和分散體等詳細(xì)規(guī)格,。還應(yīng)對(duì)耐高溫多層反射鏡。利用同步加速器設(shè)備的反射率評(píng)估服務(wù)也可作為選項(xiàng)提供,。

同時(shí)也為包括EUV光刻的EUV工業(yè)應(yīng)用提供成本低,、交付周期短、質(zhì)量穩(wěn)定的多層反射鏡,。作為用戶的研發(fā)伙伴,，支持用戶的EUVL光源開發(fā)、EUV光刻膠開發(fā),、EUV掩模檢查和其它周邊領(lǐng)域的實(shí)際利用,。

XUV多層膜反射鏡（EUV多層膜反射鏡）

基板形狀：平面,、凸形、凹形,、拋物面,、超環(huán)面、橢圓面基板材料：石英,、硅,、zero dewer等

多層膜材料：Mo/Si,、Ru/Si,、Zr/Al、SiC/Mg,、Cr/C等

基板尺寸：φ3毫米至φ300毫米

NTT-AT公司將提供高耐用性XUV多層反射鏡,、耐高溫XUV多層膜反射鏡以及施瓦茲希爾德光學(xué)系統(tǒng)和泵浦探測(cè)光學(xué)系統(tǒng)等光學(xué)系統(tǒng)。

X射線多層膜反射鏡

基板形狀：平面,、橢圓面,、拋物面、柱面,、超環(huán)面

基板：石英,、硅、zero dewer等

基板材料：W/B4C,、W/C,、Pt/C等

基板尺寸：**500毫米

NTT-AT公司提供K-B反射鏡系統(tǒng),、沃爾特反射鏡等

單層反射鏡

基板形狀：平面、橢圓面,、拋物面,、柱面、超環(huán)面基板材料：石英,、硅,、zero dewer等

多層材料：C、B4C,、SiC,、Ru、NbN,、Pt等

基板尺寸：**500毫米

NTT-AT公司提供K-B反射鏡系統(tǒng),、沃爾特反射鏡等

本公司定制多層材料和結(jié)構(gòu)，滿足用戶的基板,、峰值波長(zhǎng),、帶寬和分散體等詳細(xì)規(guī)格。還應(yīng)對(duì)耐高溫多層反射鏡,。利用同步加速器設(shè)備的反射率評(píng)估服務(wù)也可作為選項(xiàng)提供,。世界上只有為數(shù)不多的公司生產(chǎn)和銷售EUV反射鏡。如果您不滿意現(xiàn)在的供應(yīng)商,，NTT-AT公司能夠制造滿足您嚴(yán)格要求的定制設(shè)計(jì)反射鏡,。NTT-AT公司將推薦正確反映用戶規(guī)格的**設(shè)計(jì)。