看了EUV多層膜反射鏡的用戶又看了
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
NTT-AT公司已提供了20 多年高質(zhì)量XUV、EUV和X射線反射鏡,。尤其是利用本公司的豐富經(jīng)驗和出色技能,,提供可定制設計的多層膜反射鏡,滿足各用戶的需求,。
1990年,,NTT-AT公司開發(fā)了極紫外(XUV或EUV)多層反射鏡和X射線反射鏡并開始銷售。并將亞洲,、北美洲,、南美洲和歐洲的大學、研究所和企業(yè)反饋的意見反映到這些反射鏡的設計中,。本公司將利用廣泛積累的經(jīng)驗和可靠的技術(shù)支持用戶的多層反射鏡生產(chǎn),。
因為NTT-AT公司的多層反射鏡質(zhì)量高,所以一直被世界上的研究機構(gòu)所選用,。本公司定制多層材料和結(jié)構(gòu),,滿足用戶的基板、峰值波長,、帶寬和分散體等詳細規(guī)格,。還應對耐高溫多層反射鏡。利用同步加速器設備的反射率評估服務也可作為選項提供,。
同時也為包括EUV光刻的EUV工業(yè)應用提供成本低,、交付周期短、質(zhì)量穩(wěn)定的多層反射鏡,。作為用戶的研發(fā)伙伴,,支持用戶的EUVL光源開發(fā)、EUV光刻膠開發(fā),、EUV掩模檢查和其它周邊領(lǐng)域的實際利用,。
基板形狀:平面、凸形,、凹形,、拋物面、超環(huán)面,、橢圓面基板材料:石英,、硅、zero dewer等
多層膜材料:Mo/Si,、Ru/Si,、Zr/Al、SiC/Mg,、Cr/C等
基板尺寸:φ3毫米至φ300毫米
NTT-AT公司將提供高耐用性XUV多層反射鏡,、耐高溫XUV多層膜反射鏡以及施瓦茲希爾德光學系統(tǒng)和泵浦探測光學系統(tǒng)等光學系統(tǒng),。
基板形狀:平面、橢圓面,、拋物面,、柱面、超環(huán)面
基板:石英,、硅,、zero dewer等
基板材料:W/B4C、W/C,、Pt/C等
基板尺寸:**500毫米
NTT-AT公司提供K-B反射鏡系統(tǒng),、沃爾特反射鏡等
基板形狀:平面、橢圓面,、拋物面,、柱面、超環(huán)面基板材料:石英,、硅,、zero dewer等
多層材料:C、B4C,、SiC,、Ru、NbN,、Pt等
基板尺寸:**500毫米
NTT-AT公司提供K-B反射鏡系統(tǒng),、沃爾特反射鏡等
本公司定制多層材料和結(jié)構(gòu),滿足用戶的基板,、峰值波長,、帶寬和分散體等詳細規(guī)格。還應對耐高溫多層反射鏡,。利用同步加速器設備的反射率評估服務也可作為選項提供,。世界上只有為數(shù)不多的公司生產(chǎn)和銷售EUV反射鏡。如果您不滿意現(xiàn)在的供應商,,NTT-AT公司能夠制造滿足您嚴格要求的定制設計反射鏡,。NTT-AT公司將推薦正確反映用戶規(guī)格的**設計。
應用示例 | 基板材料 | 典型波長 | ||
---|---|---|---|---|
XUV(EUV) 反射鏡 | EUV光刻 高階諧波應用 阿秒科學 X射線激光器 | 多層反射鏡 | Mp/Si Ru/Si Zr/Al SiC/Mg Cr/C | 50電子伏至100電子伏 50電子伏至100電子伏 50電子伏至70電子伏 25電子伏至50電子伏 至300電子伏 |
單層反射鏡 | SiC Pt Ru | 10電子伏至100電子伏 | ||
X射線反射鏡 | 同步加速器應用 XFEL應用 內(nèi)置X射線無損 檢查設備 | 多層反射鏡 | W/C W/B4C Ru/C Pt/C | 1k電子伏至30k電子伏 |
單層反射鏡 | C B4C SiC Cr Ni | 1k電子伏至30k電子伏 |
NTT-AT公司已支持了許多同步加速器輻射應用,、XFEL應用,、包括阿秒科學和材料科學的高階諧波應用、軟X射線激光應用和天文學的實驗和研究,。NTT-AT公司的XUV多層反射鏡的****的質(zhì)量受到學術(shù)界的好評,。
Φ10毫米平面反射鏡 | 測量的Mo/Si多層的反射率 (正入射角:2度) |
用于泵浦探測試驗的多層反射鏡 | 測量寬帶反射鏡、 窄帶反射鏡(波長:30納米)的反射率 |
EUV寬帶橢圓面反射鏡 (Φ100毫米zero dewer) | Mo/Si多層反射鏡具有接近13納米(90電子伏)波長的高反射率,。NTT-AT公司的Mo/Si多層反射鏡具有高達70%的正入射反射率,。 NTT-AT的XUV反射鏡的材料,、膜結(jié)構(gòu)和基板形狀可以定制以滿足用戶有關(guān)中心波長和光學裝置的需求,。 |
用于K-B反射鏡系統(tǒng)的多層反射鏡 | W/B4C多層和W/C多層膜反射鏡對硬X射線應用具有高反射率,。為了有效反射和聚集硬X射線,必須**限度地縮小入射角的斜角,。這需要較長的反射鏡長度和較小的多層膜周長,。 |
評估的反射率 (波長:0.154納米,藍色:測量的反射率,,粉紅色,;計算的反射率,周期長度: 2.95納米) | NTT-AT公司的X射線反射鏡的材料,、膜結(jié)構(gòu)和基板形狀可以定制以滿足用戶有關(guān)中心波長,、帶寬和光學裝置的需求。 |
帶釕層的橢圓面反射鏡 | 利用全反射的單層反射鏡用于波束控制,、光聚合和去除XUV至X射線范圍內(nèi)的無需波長,。 NTT-AT公司的單層反射鏡的材料和基板形狀可以定制以滿足用戶有關(guān)中心波長和光學裝置的需求。 |
暫無數(shù)據(jù),!