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濺射設(shè)備MVS
濺射設(shè)備MVS

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上海瞬渺光電技術(shù)有限公司

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濺射設(shè)備 MVS

MVS提供單靶材或多靶濺射設(shè)備,。可根據(jù)用戶需求定制,。

制備透明導電薄膜 (如ITO,,AZO)。

MVSystems,, Inc. 由曼登博士(Dr. Arun Madan)創(chuàng)建于1989年,。

曼登博士曾在英國丹迪大學從師于斯皮爾(Walter Spear)教授,是1970年代*早從事非晶硅材料和器件研究的人員之一,。

曼登博士在非晶硅薄膜晶體管(TFT)方面進行了開創(chuàng)性的研究,,這是他的博士論文的主要內(nèi)容之一。非晶硅薄膜晶體管現(xiàn)已成為平板顯示器中必不可缺的重要器件,。

公司在薄膜半導體技術(shù)和先進的高真空半導體薄膜沉積設(shè)備方面擁有14項**,,包括:

多腔室PECVD沉積系統(tǒng) – 主要產(chǎn)品 用于柔性襯底的Reel-to-reel多室系統(tǒng) - 主要產(chǎn)品

碳熱絲化學氣相沉積設(shè)備 摻氟納米硅(微晶硅)材料

P型寬帶隙非晶硅材料 摻氟二氧化錫絨面透明導電膜(與日本Asahi公司合作)

公司生產(chǎn)制造的80多臺設(shè)備已銷往全世界23個國家和地區(qū)。

公司生產(chǎn)的主要薄膜材料和器件產(chǎn)品包括:

材料

器件

非晶硅(a-Si:H)

薄膜硅太陽電池

納米(微晶)硅 (nc-Si)

薄膜晶體管

氮化硅(SiNx),,氧化硅(SiOx),氮氧化硅(SiON)

成像器件

氧化鋅(AZO),,銦錫氧化物(ITO),, 二氧化錫(SnO2)

X光探測器

MVSystems公司設(shè)計,,制造和提供各類單腔室和多腔室薄膜沉積設(shè)備。另外,,根據(jù)用戶的需求,,各種

PECVD,HWCVD,,和PVD腔室可以單個制造,,也可配備到現(xiàn)有的團簇型(星型)或是直線型沉積系。我們公司的工程設(shè)計部門盡可能為用戶著想,,以使用戶們獲取他們*需要的且價格合適的設(shè)備,。

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