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通過超級(jí)混合式物鏡進(jìn)行高分辨率觀察

JSM-7800F的物鏡采用靜電場和靜磁場疊加的超級(jí)混合式物鏡(SHL),，由于減少了色差及球差，極大地提高了低加速電壓下的分辨率,。此外,，SHL不會(huì)對(duì)樣品形成磁場影響，因此觀察磁性材料的樣品和進(jìn)行EBSD測試可以不受制約,。

低加速電壓下的能量選擇

能量過濾器位于高位檢測器 (UED)的正下方,，可以選擇能量。即使在低加速電壓下,，也能夠精確地選擇二次電子和背散射電子,，因而可以通過低加速電壓下的背散射電子像，觀察樣品的淺表面,。

通過柔和光束觀察樣品的淺表面

給樣品加以偏壓(GB),，對(duì)入射電子有減速,、對(duì)釋放出的電子有加速作用,。即使入射電子束到達(dá)樣品時(shí)的能量很低，也可以獲得高分辨率,、高信噪比的圖像,。如果利用能施加更高偏壓的GB模式，用數(shù)十電子伏能量的入射電子束,，就可以進(jìn)行更高分辨率的觀察,。

? 通過多個(gè)檢測器獲取樣品的所有信息

JSM-7800F配有四種檢測器：高位檢測器(UED) 、高位二次電子檢測器(USD),、背散射電子檢測器(BED)和低位檢測器(LED),。UED過濾器的電壓不同，二次電子和背散射電子的數(shù)量會(huì)改變,，因此可以選擇電子的能量,，USD檢測被過濾器彈回的低能量電子，BED通過檢測低角度的背散射電子,，能清楚地觀察通道襯度,。利用LED的照明效果能夠獲得含有形貌信息的、富有立體感的圖像,。