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日本電子JSM-7800F掃描電鏡
日本電子JSM-7800F掃描電鏡

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通過超級混合式物鏡進行高分辨率觀察

JSM-7800F的物鏡采用靜電場和靜磁場疊加的超級混合式物鏡(SHL),,由于減少了色差及球差,,極大地提高了低加速電壓下的分辨率。此外,,SHL不會對樣品形成磁場影響,,因此觀察磁性材料的樣品和進行EBSD測試可以不受制約。

低加速電壓下的能量選擇

能量過濾器位于高位檢測器 (UED)的正下方,,可以選擇能量,。即使在低加速電壓下,也能夠精確地選擇二次電子和背散射電子,,因而可以通過低加速電壓下的背散射電子像,,觀察樣品的淺表面。

通過柔和光束觀察樣品的淺表面

給樣品加以偏壓(GB),,對入射電子有減速、對釋放出的電子有加速作用,。即使入射電子束到達樣品時的能量很低,,也可以獲得高分辨率、高信噪比的圖像,。如果利用能施加更高偏壓的GB模式,,用數(shù)十電子伏能量的入射電子束,就可以進行更高分辨率的觀察,。

? 通過多個檢測器獲取樣品的所有信息

JSM-7800F配有四種檢測器:高位檢測器(UED) ,、高位二次電子檢測器(USD)、背散射電子檢測器(BED)和低位檢測器(LED),。UED過濾器的電壓不同,,二次電子和背散射電子的數(shù)量會改變,,因此可以選擇電子的能量,USD檢測被過濾器彈回的低能量電子,,BED通過檢測低角度的背散射電子,,能清楚地觀察通道襯度。利用LED的照明效果能夠獲得含有形貌信息的,、富有立體感的圖像,。

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