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浸沒(méi)式肖特基Plus場(chǎng)發(fā)射電子槍
電子槍和低像差聚光鏡的優(yōu)化組合,，實(shí)現(xiàn)了更高的亮度,，能有效采集電子槍中發(fā)射的電子，即使在低加速電壓下也能獲得數(shù) pA～數(shù)10 nA 探針電流,，保持*小的物鏡光闌就可以進(jìn)行納米尺寸的高分辨率觀察,、快速元素面分布及EBSD分析。
利用GBSH觀察樣品表面
以前的GB※模式經(jīng)過(guò)改進(jìn)后,，可以對(duì)樣品施加更高的電壓,，這樣在低加速電壓下也能獲得超高分辨率的圖像。從樣品的淺表面觀察到納米尺寸的元素分析,，GBSH能根據(jù)各種不同的應(yīng)用選擇加速電壓,。
※Gentle Beam(GB) 通過(guò)給樣品加以偏壓(GB)，對(duì)入射電子有減速,、對(duì)釋放出的電子有加速作用,。
通過(guò)柔和光束觀察樣品的淺表面
給樣品加以偏壓(GB)，對(duì)入射電子有減速,、對(duì)釋放出的電子有加速作用,。即使入射電子束到達(dá)樣品時(shí)的能量很低，也可以獲得高分辨率,、高信噪比的圖像,。如果利用能施加更高偏壓的GB模式，用數(shù)十電子伏能量的入射電子束,，就可以進(jìn)行更高分辨率的觀察,。
通過(guò)多個(gè)檢測(cè)器獲取樣品的所有信息
JSM-7800FPRIME配有四種檢測(cè)器：高位檢測(cè)器(UED) 、高位二次電子檢測(cè)器(USD),、背散射電子檢測(cè)器(BED)和低位檢測(cè)器(LED),。UED過(guò)濾器的電壓不同，二次電子和背散射電子的數(shù)量會(huì)改變,，因此可以選擇電子的能量,，USD檢測(cè)被過(guò)濾器彈回的低能量電子,，BED通過(guò)檢測(cè)低角度的背散射電子，能清楚地觀察通道襯度,。利用LED的照明效果能夠獲得含有形貌信息的,、富有立體感的圖像。
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