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日立超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000
日立超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000

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超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU9000

專門為電子束敏感樣品和需**300萬倍穩(wěn)定觀察的先進半導(dǎo)體器件,高分辨成像所設(shè)計,。

特點

  • 新的電子槍和電子光學(xué)設(shè)計提高了低加速電壓性能,。

    0.4nm / 30kV (SE)

    1.2nm / 1kV (SE)

    0.34nm / 30kV (STEM)

  • 用改良的高真空性能和****的電子束穩(wěn)定性來實現(xiàn)高效率截面觀察。

  • 采用全新設(shè)計的Super E x B能量過濾技術(shù),,高效,,靈活地收集SE / BSE/ STEM信號。

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