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3D激光微納加工系統(tǒng)(微流控生物芯片)
3D激光微納加工系統(tǒng)(微流控生物芯片)

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德國

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锘海生物科學(xué)儀器(上海)股份有限公司

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3D激光打印機(jī)(微流控生物芯片)

LightFab GmbH是激光技術(shù)領(lǐng)域的新技術(shù)公司,,我們在德國亞琛弗勞恩霍夫激光技術(shù)研究所的亞琛大學(xué)激光技術(shù)負(fù)責(zé)開發(fā)了我們的技術(shù)基礎(chǔ),并在2013年啟動了LightFab,。

LightFab 3D打印機(jī)是用于激光直接寫入透明材料的極快速精確的臺式機(jī),。該系統(tǒng)可用于微流體學(xué),微力學(xué),,集成光學(xué)和其他需要高精度,,高分辨率3D微結(jié)構(gòu)的應(yīng)用。LightFab 3D打印機(jī)旨在通過附帶的CAD / CAM軟件實現(xiàn)*快的自動3D打印,。帶有1pm的聚焦直徑,,適用于激光直接寫入過程,如3D聚合物微結(jié)構(gòu)的多光子聚合,,超快激光刻錄的3D波導(dǎo)寫入,,玻璃和晶體中的3D光刻,選擇性激光誘導(dǎo)蝕刻,,玻璃內(nèi)部焊接和精密微觀結(jié)構(gòu)切除,。LightFab 3D打印機(jī)將快速電流計掃描儀,精密軸系統(tǒng),,和超精密聚焦模塊,,快速fs激光,顯微鏡物鏡,,顯微鏡相機(jī)和自動對焦系統(tǒng)集成在一個盒子內(nèi),。隨附的PC和電子設(shè)備都在一個獨立的電氣柜內(nèi)交付。

使用針對高精度和*小定位延遲進(jìn)行優(yōu)化的快速微型掃描儀模塊逐層寫入任意3D結(jié)構(gòu),。如果結(jié)構(gòu)大于顯微鏡物鏡的視場,,則平移軸自動移動對焦后進(jìn)行掃描。fs激光器(4 W,,1030 nm2 W,,515 nm波長)的重復(fù)率和脈沖持續(xù)時間是可調(diào)的,,可以靈活優(yōu)化您的工藝和材料的加工條件。

要使用LightFab 3D打印機(jī)自動打印3D部件,,激光跟蹤的數(shù)據(jù)是是由我們的CAD軟件Rhino3D通過插件SliceLas生成,。您可以輕松調(diào)整3D幾何,例如以補償工藝特定的收縮或過度蝕刻,,您可以對輪廓和陰影使用不同的加工參數(shù),。此外,您可以方便地查看CAD軟件中的3D掃描作業(yè),,也可以使用我們集成的過程特定工具,,修改單個參量。為了獲得高的生產(chǎn)效率,,您可以使用辦公室的CAD軟件,,方便地生成復(fù)雜的3D結(jié)構(gòu)掃描作業(yè),并用經(jīng)過驗證的sll格式或新的高效slb格式導(dǎo)出,。在實驗室中,,您可以在GUI機(jī)器軟件中加載兩種格式,并自動執(zhí)行3D掃描作業(yè),,以節(jié)省寶貴的激光束時間,。所包含的機(jī)器驅(qū)動程序LightFabScan針對掃描作業(yè)的*快執(zhí)行進(jìn)行了優(yōu)化,逐層以ps精度和高效率控制系統(tǒng)的組件,。對于使用LightFab 3D打印機(jī)進(jìn)行***的流程開發(fā),,您可以使用附帶的GUI軟件Scan2D進(jìn)行快速繪圖/寫入,您可以使用集成的強(qiáng)大的腳本語言來自動更改*重要的處理參數(shù),。

軟件包

配的PC

Win 7

自動3D打印

Rhino 3D CAD與SliceLas,,LightFabScan

快速的流程開發(fā)

具有腳本語言的Scan2D,JS_AxisHost,,LaserControl

3D顯微鏡

顯微鏡物鏡

10Ox,, NA=1.4, f=1.6 mm

40x,, NA=0.6,, f=4 mm

20x, NA=0.4,, f=8 mm

掃描范圍 xy

140 x 140 pm2

350 x 350 pm2

700 x 700 pm2

行程范圍 z

300 pm

> 300 pm

> 300 pm

分辨率xyz

5 nm

11 nm

22 nm

重復(fù)率 xyz

lOnm

25 nm

50 nm

**寫入速度 xy

30 mm/s

80 mm/s

160 mm/s

**定位速度 xy

120mm/s

300 mm/s

600 mm/s

定位時間 z

<20 ms

< 20 ms

<20 ms

可加工的尺寸(以玻璃材料為例)

120x80x0.3 mm3

120x80x2 mm3

120x80x7 mm3

線性步進(jìn)軸

激光與調(diào)制器

Wavelength preset at factory

行程范圍 xy

120x80 mm2

波長

1030 nm

515 nm

行程范圍 z

25 mm

光束質(zhì)量

1.3

1.3

分辨率 xy

50 nm

**功率

4 W

2 W

分辨率 z

100 nm

**脈沖能量

4 pj

2 pJ

重復(fù)率 xy

150 nm

重復(fù)率可調(diào)

100 kHz-10 MHz

重復(fù)率 z

1 pm

脈搏持續(xù)時間可調(diào)

400 fs-

5 ps

**定位速度 xy

300 mm/s

激光電源自動控制

0-100%

**定位速度 z

10 mm/s

選項和配件

激光參數(shù)出廠設(shè)置例如 用于熔融石英的選擇性激光刻蝕或聚合物的雙光子吸收

4個75 x 25 mm2滑塊的通用樣品架或樣品架

適應(yīng)各種顯微鏡物鏡的適配器

0-360°電動控制線性極化,,圓極化

選擇性激光刻蝕LightFab3D打印機(jī)

SLE(選擇性激光刻蝕技術(shù))一種新的激光技術(shù),,用于快速制造由空腔,、通道、甚至移動部件組成的透明材料制成的三維設(shè)備,。

SLE主要分為兩步:在**步驟中超短脈沖激光輻射被聚焦到微米大小的焦點,,以**對透明材料改性的方式對材料曝光,。這種激光改性是沒有裂縫和高精度的,不能和三維圖像組成的帶有微裂紋玻璃混淆,。通過焦點的三維掃描,,可以在玻璃內(nèi)部形成一個任意連通的三維形狀。第二步是顯影的過程,,通過在工件表面上的濕化學(xué)蝕刻除去改性材料,。

對于選擇性激光刻蝕的精度和刻蝕的選擇性息息相關(guān)。選擇性是改性材料刻蝕率和未處理材料刻蝕率的比值,。例如在石英玻璃的選擇性大于500:1,,使得小錐度長細(xì)通道的結(jié)構(gòu)可以形成。因此,,通過SLE技術(shù)可以產(chǎn)生復(fù)雜的三維腔,,這類產(chǎn)品,是例如微流體結(jié)構(gòu)和微結(jié)構(gòu)的3D部件的基礎(chǔ),。

SLE優(yōu)勢是高精度,,無雜物,,真正的3D性能和我們的lightfab 3D打印機(jī)的高處理速度,。因此,,SLE技術(shù)是**的數(shù)字3D打印透明材料組件的方法,。

目前,我們實現(xiàn)SLE加工過程主要包括從2D3D-CAD模型中獲得的各種通用文件格式和直接激光刻寫路徑生成,。這樣的設(shè)計可以輕松加工和測試,,例如:快速的磨具制造。在為您的特殊應(yīng)用識別出適合的原型之后,,由于LightFab 3D打印機(jī)在市場上****的速度,,甚至可以在同一系統(tǒng)下進(jìn)行系列生產(chǎn)。對于單一設(shè)計的大量生產(chǎn),,我們的設(shè)備帶有為客戶定制的高速的掃描振鏡,。

通過與大學(xué),研究機(jī)構(gòu)和行業(yè)的合作伙伴的密切合作,,我們不斷開發(fā)進(jìn)一步滿足合作伙伴需求,。

在更高的精度,新材料,,較小的特征尺寸和較大的可加工空間方面的改進(jìn),,帶來了一些新的應(yīng)用空間。

[a]正在與Fraunhofer ILT的臨床診斷課題組聯(lián)合開發(fā)一種用于更快抗生素耐藥性試驗的細(xì)胞分選器

[b]用于新型激光驅(qū)動粒子加速器聚焦氣流拉瓦爾噴嘴裝置(和德國尤里希研究中心合作)

[c]熔融二氧化硅中的微流體截面芯片(與沖繩科技研究所合作 )

[d]用于毛細(xì)管電泳中更有效耦合毛細(xì)管的微流控芯片(與圖賓根大學(xué)分析化學(xué)小組合作)

[e]孔陣列2500孔0.045mm直徑1mm熔融石英(左)和精密鑄造模具用于RFID天線,。

材料

選擇性

目前利用選擇性激光刻蝕可以做成的結(jié)構(gòu)

熔融石英

500-1500

3D結(jié)構(gòu)厚度可以達(dá)到 7mm

藍(lán)寶石

-10000

2.5D切割厚度可達(dá) 0.5mm

<10

1mm通孔,,高圓錐度

<50

單微通道

熔融石英的加工特

目前技術(shù)水平

切角

沒有限制

x,,y*小通道寬度

10pm

z*小通道高速

20pm

表面粗糙度 Rz

1pm

x,y**精度

+-1pm

z**精度

+-2pm

**工件尺寸 x/y/z

100mm x 200mm x 7mm

**通道長度

10mm

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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