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橢偏儀
SpecEL-2000是一款操作便捷的臺(tái)式光譜橢偏儀,，主要用于測(cè)量平整和半透明的樣品,，例如硅晶圓片和玻璃片等薄膜。
橢圓偏光技術(shù)是一種非接觸式,、非破壞性,，以光學(xué)技術(shù)測(cè)量表面薄膜特性的方法。其檢測(cè)原理是：當(dāng)一束偏振光經(jīng)過(guò)物體表面或界面時(shí),，其偏振極化狀態(tài)會(huì)被改變,。而橢偏儀就是通過(guò)探測(cè)樣品表面的反射光，來(lái)測(cè)量此改變（即反射光和入射光的振幅及相位的改變量），以決定表面特性薄膜的光學(xué)常數(shù)（n,、k值）及膜厚,。
SpecEL-2000測(cè)試系統(tǒng)主要包括：寬帶光源、高性能線(xiàn)陣CCD光譜儀,、導(dǎo)光器件,、起偏器,、樣品測(cè)試臺(tái),、檢偏器、光學(xué)增強(qiáng)元件及測(cè)量分析軟件,。
SpecEL-2000適合于探測(cè)薄膜厚度,、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)特性，通常應(yīng)用于有薄膜存在的地方,，其應(yīng)用包括光學(xué)鍍膜和保護(hù)膜,、聚合物、光刻材料,、平面平板顯示,、計(jì)算機(jī)讀寫(xiě)頭以及半導(dǎo)體集成電路制造的研究開(kāi)發(fā)。另外,，在生物,、醫(yī)學(xué)、化學(xué),、電化學(xué)及材料研究等方面有著廣泛的應(yīng)用,。
SpecEL橢偏儀基本性能：
●基本型號(hào)：SpecEI-2000-UV/VIS/NIR & SpecEI-2000-VIS/NIR
●光譜范圍：290-1050nm (UV/VIS/NR) & 400-1000nm (VIS/NIR)
●測(cè)量范圍：1nm~10μm
●膜厚分辨率：0.1nm
●測(cè)量時(shí)間：7~13s
●測(cè)量膜層：32層
●光束直徑：300×1200μm (Smaller spots available)
●入射角度：700 (other angles available)
●樣品調(diào)整：高度±1mm；傾斜±10
●測(cè)量指標(biāo)：光學(xué)常數(shù)(n&k)及膜厚
●快速響應(yīng)：在線(xiàn)測(cè)量
●基底材料：硅晶片和玻璃片等
●數(shù)學(xué)模型：折射率/諧振子/柯西/塞耳邁耶爾/麥克斯韋-加尼特等數(shù)學(xué)模型
●應(yīng)用場(chǎng)合：光學(xué)鍍膜/保護(hù)膜/聚合物/光刻材料/平面平板顯示/導(dǎo)體集成電路
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