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PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)通過(guò)測(cè)量等離子體反應(yīng)腔的發(fā)射光譜,，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)反應(yīng)腔內(nèi)的等離子體組分和密度、等離子體溫度,、電子密度等參數(shù),。由等離子體發(fā)射光譜的強(qiáng)度值可計(jì)算得出等離子組分、顆粒密度及電子密度,；由同一電子的能量吸收譜線(xiàn)同另外譜線(xiàn)的對(duì)比可計(jì)算得出電子溫度,。測(cè)量輸出結(jié)果，可反饋控制等離子體的發(fā)生,，從而獲得**的反應(yīng)流程和效果,。

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)主要包括：高性能線(xiàn)陣CCD光譜儀、傳輸光纖,、接收透鏡,、過(guò)程監(jiān)控裝置及測(cè)量分析軟件,。

PlasCalc應(yīng)用于測(cè)量等離子體鍍膜沉積情況,，監(jiān)測(cè)等離子濁刻，檢查表面清潔處理,，分析等離子反應(yīng)腔控制情況,，監(jiān)測(cè)異常污染排放現(xiàn)象，磁控濺射、光學(xué)鍍膜,、終點(diǎn)測(cè)量,、開(kāi)發(fā)等離子過(guò)程的監(jiān)測(cè)和控制優(yōu)化。

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)基本性能：

●測(cè)量范圍：測(cè)量發(fā)射光譜獲得等離子體組分/密度/電子溫度等參數(shù)

●光譜范圍：200-1100nm

●探測(cè)器：2048像素CCD

●光譜分辨率：1nm

●A/D轉(zhuǎn)換：14位

●通訊方式：USB1.1

●供電方式：直流12V,；1.25A

●應(yīng)用場(chǎng)合：等離子體鍍膜沉積/等離子體監(jiān)測(cè)/安全監(jiān)控/反映過(guò)程優(yōu)化/終點(diǎn)測(cè)量

◆PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)用軟件

-實(shí)時(shí)在線(xiàn)監(jiān)測(cè)等離子過(guò)程的發(fā)射光譜

-監(jiān)測(cè)和控制的雙屏幕技術(shù)

-8數(shù)字量輸入/輸出,；4模擬量輸出

-終點(diǎn)、啟動(dòng),、停止及限位的信息音提示

◆備選附件

-SpecLine Software：峰值查找和譜線(xiàn)辨別

-UV & UV-VIS & NIR 傳輸光纖

-COL-UV-6 & COL-UV-30準(zhǔn)值透鏡

-VFT真空接管

-PVFT-UVX & PVFT-UVX真空法蘭接頭