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產(chǎn)品簡介
日立高新技術(shù)公司于2016年4月15日在全球發(fā)布了掃描電子顯微鏡——FlexSEM 1000,。該產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊,，占地面積小，但分辨率不輸大型電鏡,，同時操作極其簡便,，幾乎不用培訓就可操作。緊湊型設(shè)計,，分辨率為4 nm,。
掃描電子顯微鏡可對材料的表面進行高倍率觀察及高精度元素分析，在納米技術(shù),、生命科學,、產(chǎn)品設(shè)計研發(fā)及失效分析等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。 近年來,，掃描電鏡觀察表面精細結(jié)構(gòu)及元素分析的需求日趨增加,，而越來越多的用戶希望能在生產(chǎn)線、品保檢驗線和辦公區(qū)等有限的空間里使用掃描電子顯微鏡,。因此,，體積小、操作簡便,、分辨率高的掃描電子顯微鏡備受關(guān)注,。FlexSEM 1000主機寬450mm、長640mm,，相比SU1510型號體積減小52%,，重量減輕45%,，功耗減小50%，且配備標準化的電源接口,。主機與供電單元可分離,，安裝非常靈活。
FlexSEM 1000采用電子光學系統(tǒng)和可靠性,、靈敏度的探測器,，分辨率高達4nm。FlexSEM 1000有多種自動化功能,，操作簡便,，即便是初次操作者也能快速拍出高質(zhì)量圖像。另外,，新開發(fā)的導航功能「SEM MAP」可使用各種光學圖片或電鏡照片進行導航,，一鍵就快速精準地切換至感興趣的高倍率視野。
特點：
a. 通過高靈敏度二次電子探測器,，背散射探測器,，低真空探測器（UVD*2），實現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察
b. 操作簡捷,，即使新手也能拍出高質(zhì)量的圖片
c. 新開發(fā)的導航功能「SEM MAP」,，便于快速鎖定視野
d. 大窗口（30 mm2）SDD能譜系統(tǒng)，便于快速分析元素成分*2
*1 設(shè)置在桌面時,，分離主機和電源箱
*2 選配
| 項目 | 內(nèi)容 | |
|---|---|---|
| 分解能*3 | 4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式） 15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式） 5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式） | |
| 加速電壓 | 0.3 kV ～ 20 kV | |
| 放大倍率 | 6× ～ 300,，000× （底片倍率） 16× ～ 800,，000× （顯示倍率） | |
| 低真空模式 | 真空范圍：6 ～ 100 Pa | |
| 電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲 | |
| 樣品臺 | 3-軸自動馬達臺 X：0 ～ 40 mm,， Y：0 ～ 50 mm， Z：5 ～ 15 mm R：360°,， T：-15° ～ ＋90° | |
| **樣品尺寸 | 直徑80 mm | |
| **樣品高度 | 40 mm | |
| 尺寸 | 主機：450（W） x 640（D） x 670（H） mm 供電單元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm | |
| 探測器選配 |
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