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簡介：

在MEMS制造中，經(jīng)常需要對兩個芯片進行精確對準和鍵合以建造三維結構,。

芯片鍵合機可以用來手動鍵合兩個芯片,。

通過芯片到芯片的連接，可以手動對齊兩個芯片,。然后,，芯片可以接觸，以執(zhí)行陽極粘接或各種粘合過程,。單片機的對準階段包括三個線性軸和三個旋轉軸,，為大多數(shù)對準應用提供了足夠的自由度。

下芯片夾在基板上,，上芯片由針固定,。兩個真空吸持器可以分別調(diào)節(jié)和開關。為了進行陽極焊接過程,，提供了加熱板和高壓電源,。鍵合電壓由一個控制單元調(diào)節(jié)，該單元監(jiān)控鍵合電壓和鍵合電流,。加熱板的溫度也在控制器上進行調(diào)節(jié),。

應用：

芯片準直；

陽極鍵合,；

封裝；

各種膠合過程（如：UV,、環(huán)氧樹脂,、熱膠合等）。

優(yōu)點：

快速芯片準直,；

安全操作,；

可以定制用于不同用途；

結構小巧,；

簡單易用,。

特點：

三個線性軸,；

三個旋轉軸；

可加熱到500℃,；

陽極鍵合電壓源,；

可顯微鏡下芯片準直；

安全操作,。

主要參數(shù)：

芯片尺寸

ZUI大:25 x 25 mm

ZUI小:3 x 3 mm

芯片夾持方法:真空

加熱盤

ZUI高溫度:520℃

高壓電源

電壓：直流200V-1500V可調(diào)

可調(diào)范圍

X和Y方向:加熱臺25mm

Z方向:針孔針25mm

旋轉角度:自由360°

傾斜角度:±4°