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蔭罩掩膜對準(zhǔn)器 Shadow Mask Aligner

設(shè)備簡介：

本設(shè)備可以用于精確和可重建性的對準(zhǔn)蔭罩掩膜和晶圓,。可以放于真空腔體用于PVD工藝,。沉積后,，夾盤可以打開，晶圓和掩膜可以不破壞的分離,，并且掩膜板可以重復(fù)利用,。

夾盤可以用于任何基底尺寸以滿足用戶的要求，并且我們也可以提供精確和經(jīng)濟(jì)的由金屬,、硅,、玻璃、陶瓷等制造的蔭罩掩膜,。

產(chǎn)品型號：SMA-100,，SMA-150，SMA-200

晶圓和蔭罩尺寸：100mm,，150mm,，200mm，取決于設(shè)備的配置

樣品臺特征：

X和Y方向范圍：步進(jìn)10μm,，靈敏度2μm

Z方向范圍：步進(jìn)10μm,，靈敏度2μm

旋轉(zhuǎn)角度：360°不間斷

傾斜：工廠校準(zhǔn)，工程師手動調(diào)節(jié)

對準(zhǔn)精度（濺射后）

線性對準(zhǔn)：典型值6μm,， ZUI大值10μm

旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)：0.001°到0.009°

夾盤

晶圓尺寸：100mm,，150mm,，200mm

夾盤材料：陽極氧化鋁或非陽極氧化鋁

夾盤厚度：20mm取決于晶圓和掩膜的厚度

蔭罩掩膜（客戶可定制蔭罩掩膜）

材料：硅、石英,、玻璃,、金屬、陶瓷

儀器尺寸：500mm x 250mm

安裝需求：用于對準(zhǔn)過程中用來觀察的顯微鏡,、真空

注：可以根據(jù)用戶的需求進(jìn)行定制,。

優(yōu)點(diǎn)：

精確和可重建性的PVD涂層構(gòu)建

用于PVD的減震夾盤

易用、對晶圓無損夾持機(jī)構(gòu)

由于真空夾持,，可以在對準(zhǔn)的過程簡單操作

可以用于不同的晶圓尺寸

不需要安裝

低運(yùn)行成本