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樣品進行掃描電鏡觀察前，通常需要對其表面鍍一層金屬膜,，以便減少觀察時產(chǎn)生的荷電,，并增強二次電子或背散射電子信號，獲得更好的信噪比,。

Leica EM ACE200是一款低真空鍍膜儀,，可以選擇離子濺射鍍金屬膜或者碳絲蒸發(fā)鍍碳膜功能，或者同時具有這兩種功能,。能夠滿足日常SEM需求,，也可用于X-射線能譜及波譜分析，或者TEM銅網(wǎng)鍍碳膜,。全自動電腦控制,，自動完成抽真空，鍍膜,，放氣等全過程,，一鍵操作。采用當下非常流行的觸摸屏控制,，簡單方便,。

主要技術(shù)參數(shù)：

· 可任選離子濺射模式、碳絲蒸發(fā)鍍碳模式,，或者雙模式,，可選輝光放電（用于網(wǎng)格表面親水化）

· **設(shè)計脈沖式碳絲蒸發(fā)方式，可精確控制碳膜厚度

· 可選石英膜厚檢測器,，精確控制鍍膜厚度,，精度達0.1nm

· 全自動程序控制，自動完成抽真空,，鍍膜,，放氣等過程

· 觸摸屏控制,，簡單方便

· 真空度7×10-3mbar

· 濺射電流：0-150mA可調(diào)

· 方形樣品倉**設(shè)計，樣品倉尺寸：140mm（寬）×145mm（深）×150mm（高）

· 工作距離調(diào)節(jié)范圍：30mm-100mm